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產(chǎn)品介紹：
KJ-T1200 CVD是一種管式爐，配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動系統(tǒng)。它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴(kuò)散。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱		1200度CVD設(shè)備
型號		KJ-T1200
部分：標(biāo)準(zhǔn)件
Tube Furnace	顯示	7”液晶觸摸屏
	溫度	1200℃
	工作溫度	≤1100℃
	升溫速率	0~10℃/min
	溫區(qū)長度	440mm
	加熱元件	鉬電阻絲
	熱電偶	K型
	溫度控制精度	±1℃
	爐管	100 x 1000mm (OD x minimum L)
	爐管	材質(zhì)：石英管
	溫度控制	通過可控硅功率控制進(jìn)行PID自動控制
	加熱曲線	30 步可編程
	真空法蘭	不銹鋼真空法蘭。法蘭的一端有 1 個帶刺針閥，安裝有機(jī)械壓力表。法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口
	功率	220V, 50 Hz, 單相. 4KW
真空泵	旋片真空泵	極限真空 10-3 托。管內(nèi)的真空度約為 10-1 Torr。（RM溫度和空管條件）流量：2L/S 旋片真空泵將被設(shè)計(jì)成帶輪子的推車。帶連接附件包括數(shù)字真空計(jì)
質(zhì)量流量計(jì) 帶液晶觸摸屏控制器	一個浮子流量計(jì)+五個精密質(zhì)量流量計(jì)： MFC 精度為：±1.5% F.S. MFC 1 用于氮?dú)猓簹怏w流量范圍為 0~100 sccm 氫氣用 MFC 2：氣體流量范圍 0~200 sccm MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccm 氬氣用 MFC 4：氣體流量范圍 0~400 sccm 氧氣用 MFC 5：氣體流量范圍 0~500 sccm 一個氣體混合罐（僅適用于5 MFC）安裝在底殼上，4個不銹鋼針閥安裝在底殼左側(cè)，用于手動控制4種氣體混合。

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
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6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。