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產(chǎn)品介紹：

KJ-T1200-S60K-4C型四路高溫真空CVD設備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成，溫度可以達到1200度，極限真空可以達到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質子流量計，可以對多種氣體進行精確的混氣，然后導入到管式爐內(nèi)部。

KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭，真空度用分子泵可以到10-5Torr，機械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌，可用手動滑動。加熱和冷卻速率可達100°C/m。為取得加熱，可以預先加熱爐子到設定的溫度，然后移動爐子到樣品位置。為獲得冷卻，可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達到10°C/s，是低成本快速熱處理的理想爐子。

應用范圍：

化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業(yè)中應用廣泛的用來沉積薄膜材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結等實驗。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產(chǎn)品。

規(guī)格參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	四路高溫真空CVD設備
產(chǎn)品型號	KJ-T1200-S60K-4C
工作溫度	1100°C
溫度	1200°C
加熱速率	建議：0- 10°C/min {：0-20℃/min}
加熱區(qū)	三溫區(qū)
加熱區(qū)長度	200+350+200mm
控溫精度	±1°C
爐管直徑	OD60mm
爐管長度	大約1200mm-1400mm
真空法蘭	兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計，和閥門通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr，泄漏率6 mtorr/min
溫控	智能PID多段程序控溫
加熱曲線	30段可編程
功率	4KW
電壓	220V，50HZ，單相
質子流量計	4路精密質子流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制。 MFC 1范圍: 0~100 sccm MFC 2范圍: 0~200 sccm MFC 3范圍: 0~200 sccm MFC 4范圍: 0~500 sccm 氣路:4路流量精度: 0.2% 進氣和出氣接口: 1/4" 卡套一個混氣罐。每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量。

標準配件：

質子混氣系統(tǒng)1臺、雙旋機械泵1臺、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、剛玉爐塞2對、高溫手套1副、剛玉坩堝2個、氫氣檢漏器1個、說明書1份

注：坩堝可按用戶需求選配合適的款型

1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內(nèi)因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
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3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質量認證。