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產(chǎn)品介紹:六通道高真空PECVD系統(tǒng)是一款由1200度管式爐，等離子射頻電源，分子泵高真空，六通道氣路等組成的等離子化學氣相沉積系統(tǒng)，加熱腔體采用氧化鋁纖維制品...

產(chǎn)品介紹：滑道式PECVD系統(tǒng)由PT-1200T管式爐加熱系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)、等離子射頻電源系統(tǒng)組成

產(chǎn)品介紹：該設(shè)備是一款帶有預熱系統(tǒng)的滑動PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品介紹：KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成，溫度可以達到1050度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)...

產(chǎn)品特點：1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝2、采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動...

產(chǎn)品概述：KJ-T1200-S50-3Z迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃

產(chǎn)品介紹：該設(shè)備由蒸發(fā)器、混合器和反應器組成