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詳細(xì)摘要： 擴(kuò)散爐應(yīng)用于半導(dǎo)體分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造領(lǐng)域?qū)M(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。