擴散爐

應用于半導體分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池及大規(guī)模集成電路制造領域對晶片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。

產品特點

● 可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步

● 工藝曲線的自動運行控制功能

● 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能

● 自動運行中可暫停／繼續(xù)運行功能

● 可存儲多組PID參數供系統運行調用功能

● PID參數自整定功能

● 工藝氣體的程序控制功能

● 關鍵部件全部具有高可靠性

● 具有良好的人機界面

● 系統故障自診功能

● 停電后斷點繼續(xù)運行功能等等

● 具有歷史記錄功能，可打印

● 具有多點溫度補償

● 可根據用戶的特殊要求增減開發(fā)相應的功能

技術指標

● 可配置工藝管外徑2～8英寸

● 可配置工藝管數量：1～4管/臺

 青島微弘設備技術有限公司（以下簡稱青島微弘）是一家集研發(fā)、生產、銷售為一體的半導體新能源設備、光伏太陽能新能源裝備、材料熱處理設備的綜合性現代企業(yè)，自創(chuàng)立以來，通過產業(yè)經營與資本運營并舉發(fā)展，已形成了光伏太陽能電池、功率半導體、鋰電池材料、磁性材料、粉末冶金、硬質合金、陶瓷金屬化等多行業(yè)發(fā)展的產業(yè)布局。公司立足山東，*，業(yè)務覆蓋國內大部分省市和地區(qū)。

青島微弘擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經驗，產品服務廣泛應用于行業(yè)內的大專院校、科研院所、半導體制造、太陽能光伏制造、鋰電池材料制造、高性能磁性材料制造等。核心產品方面，太陽能電池行業(yè)用的擴爐等已達到國內*水平，可以替代進口設備。在功率半導體行業(yè)，成功研制生產真空擴散氧化爐、真空合金爐、LPCVD等產品，另外真空熱處理爐、氫氣爐等產品也已得到廣泛的應用。       

青島微弘擁有精良的科研、設計、制造、服務團隊，為中國半導體設備行業(yè)協會會員單位、國家半導體照明工程研發(fā)及產業(yè)聯盟會員單位、中國磁性材料與器件協會會員單位，承接并出色完成了一系列國家重點項目的設備的設計制造，為國家863計劃等重大科技攻關項目做出了突出貢獻。       

 公司堅持“質量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本，服務是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是微弘永恒的追求”的經營理念，加快推進“高度專業(yè)化” 發(fā)展戰(zhàn)略，致力于實現員工成長、客戶滿意、企業(yè)發(fā)展、社會進步的多贏。

● 工作溫度范圍：400～1300℃

● 恒溫區(qū)長度：300～1250mm

● 恒溫區(qū)精度：±0.5℃（800～1300℃）

● 單點溫度穩(wěn)定性：±0.5℃/24h（800～1300℃）

● 大可控升溫速率：15℃/min

● 大降溫速率：5℃/min

擴散爐