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鄭州科佳電爐有限公司

主營產(chǎn)品: 箱式馬弗爐,管式爐,氣氛爐等

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公司信息

聯(lián)人:
范經(jīng)理
址:
高新區(qū)玉蘭街55號
編:
450000
鋪:
http://www.hg0881.cn/st156132/
給他留言
KJ-T1200-S60-6ZH-PE六通道高真空PECVD設(shè)備
六通道高真空PECVD設(shè)備
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號 KJ-T1200-S60-6ZH-PE
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地

聯(lián)系方式:范經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-01-21 15:41:20瀏覽次數(shù):286

聯(lián)系我們時請說明是食品機(jī)械設(shè)備網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

【簡單介紹】
產(chǎn)品介紹:六通道高真空PECVD系統(tǒng)是一款由1200度管式爐,等離子射頻電源,分子泵高真空,六通道氣路等組成的等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究
【詳細(xì)說明】
產(chǎn)品介紹:   
     六通道高真空PECVD系統(tǒng)是一款由1200度管式爐,等離子射頻電源,分子泵高真空,六通道氣路等組成的等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱,特別適合于科研單位的材料工藝研究。

使用范圍:
  該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。也可可應(yīng)用于納米材料生長,石墨烯生成、金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復(fù)合薄膜等各種薄膜等,可制備出高質(zhì)量的透明導(dǎo)電膜,用作手機(jī)觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱六通道高真空PECVD系統(tǒng)(CE認(rèn)證)
管式爐部分
產(chǎn)品型號KJ-T1200-S60-6ZH-PE
爐管尺寸Φ60mmX1400mm
爐管材質(zhì)石英管
加熱區(qū)400mm
工作溫度1100℃
溫度1200℃
溫控方式K型熱電偶
控制方式30段可編程序控溫
控溫精度±1℃
溫控保護(hù)具有超溫和斷偶保護(hù)功能
升溫速率0-20ºC/min  ,建議10ºC/min
加熱元件含鉬電阻絲
工作電壓AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制)
加熱功率3KW
爐膛材料氧化鋁多晶纖維
法蘭接頭標(biāo)配配有兩個不銹鋼真空法蘭,已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥
密封系統(tǒng)該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好。
選配輔助降溫風(fēng)扇
                     真空系統(tǒng)部分
名稱真空系統(tǒng)
主要參數(shù)1.采用高真空分子泵組,極限真空度可達(dá)10-3pa
2.KF25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連;
3.數(shù)字式真空顯示,其測量范圍為5×10-5- 1500mbar,測量精度高高
氣路系統(tǒng)部分
名稱六路質(zhì)量流量計
主要參數(shù)六通道精密質(zhì)量流量計:觸屏控制,數(shù)字顯示,自動控制。流量范圍流量范圍:
1.MFC 1-MFC6:0-1000sccm可調(diào)
2.一個混氣罐
3.6個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動控制6種氣體;
4.進(jìn)出氣口:6進(jìn)1出
流量控制:手動旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié)
連接方式:雙卡套連接
等離子電源部分
名稱500W等離子電源
功率范圍0-500W(連續(xù)可調(diào))
工作頻率13.56MHZ+0.005%
工作模式連續(xù)輸出
射頻輸出阻抗接口N-type,female(50Ω)
功率穩(wěn)定度≤2W
反射功率70W
電源保護(hù)設(shè)置DC過流保護(hù),功放過溫保護(hù),反射功率保護(hù)
供電電壓/頻率單相交流(187V-253V)50-60HZ
冷卻方式風(fēng)冷
整機(jī)尺寸88X483X550 MM
整機(jī)重量13.5KG
認(rèn)證*、CE認(rèn)證
售后服務(wù)質(zhì)保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質(zhì)保范圍)
更多規(guī)格可根據(jù)要求來定制

 

 

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 



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