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兆聲波清洗機

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更新時間：2025-02-28 08:44:09瀏覽次數(shù)：47次

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深圳正陽工業(yè)清洗設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

在集成電路制造前后道工藝制程中會遇到超微顆粒物、金屬殘留、光刻膠殘留等問題

詳細介紹

在集成電路制造前后道工藝制程中會遇到超微顆粒物、金屬殘留、光刻膠殘留等問題。這些顆粒或者殘留會影響芯片的良率，需要在工藝過程中將硅片表面氧化物、氮化物去除掉。
本系列全自動槽式兆聲波清洗機采用模塊化設(shè)計，廣泛用于集成電路領(lǐng)域、封裝領(lǐng)域里的清洗、刻蝕、光刻膠去除等工藝。系統(tǒng)具有兆聲波系統(tǒng)、管路防靜電等配置。的控制邏輯能夠?qū)崿F(xiàn)在異常情況下對硅片的保護。

●集成電路領(lǐng)域：膜前清洗、去膠清洗、氮化硅腐蝕、RCA清洗、外延前清洗；
●封裝領(lǐng)域：TSV刻蝕后清洗、UBM/RDL清洗、鍵合清洗。

關(guān)鍵詞：清洗機

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