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高純氮氣

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產(chǎn)品型號高純

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所在地鄭州市

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更新時間：2018-05-17 09:32:43瀏覽次數(shù)：678次

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河南源正科技發(fā)展有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：7條

所在地區(qū)：河南

聯(lián)系人：袁經(jīng)理（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

性質(zhì)：純度大于99.999％。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點-195.8℃。熔點-209.9℃。氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置

詳細介紹

性質(zhì)：純度大于99.999％。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds（21.1℃，空氣=1）0.967。氣體密度1.153kg/m3（21.1℃，101.3kPa）；液體密度808.5kg/m3（-195.8℃,101.3kPa）。沸點-195.8℃。熔點-209.9℃。氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。

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