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產(chǎn)品介紹：
KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機(jī)是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng)、等離子電源系統(tǒng)組成?？蛇m用于石墨烯生長等。

主要功能和特點(diǎn)：
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等；
2、真空系統(tǒng)由旋片真空泵和進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)組成，真空可達(dá)10Pa；
3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì)，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制；觸屏操作，操作簡單方便。
4、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用世界卡套連接，不漏氣；

設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	石墨烯生長爐PECVD設(shè)備(CE認(rèn)證)
開啟式滑軌管式爐部分
產(chǎn)品型號(hào)	KJ-T1200-S60LC-H2
爐管尺寸	Φ60mmX1600mm
加熱區(qū)	300mm
工作溫度	1100℃
溫度	1200℃
溫控方式	K型熱電偶
控制方式	溫度控制系統(tǒng)采用觸屏操作，人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序；
控溫精度	±1℃
溫控保護(hù)	具有超溫和斷偶保護(hù)功能
升溫速率	0-20ºC/min ，建議10ºC/min
加熱元件	含鉬電阻絲
工作電壓	AC 220V 單相 50HZ
加熱功率	3KW
爐膛材料	氧化鋁多晶纖維
密封系統(tǒng)	該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好。
爐體結(jié)構(gòu)	滑軌結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)快速降溫
爐管	石英爐管

真空系統(tǒng)部分
名稱	真空系統(tǒng)
主要參數(shù)	采用旋片真空泵和進(jìn)口數(shù)顯真空計(jì)組成，真空度可達(dá)10Pa KF25快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連；進(jìn)口數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為5×10-5-1500mbar，測量精度可達(dá)0.1mbar，測量不同氣體種類不需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
氣路系統(tǒng)部分
名稱	四路質(zhì)量流量計(jì)
主要參數(shù)	四通道精密質(zhì)量流量計(jì)：觸屏控制，數(shù)字顯示。流量范圍流量范圍： 1.MFC 1-MFC4：0-1000sccm可調(diào) 2.一個(gè)混氣罐 3.4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體； 4.進(jìn)出氣口：4進(jìn)1出流量控制：手動(dòng)旋轉(zhuǎn)式調(diào)節(jié) 連接方式：雙卡套連接
等離子電源部分
名稱	500W等離子電源
功率范圍	0-500W（連續(xù)可調(diào)）
工作頻率	13.56MHZ+0.005%
工作模式	連續(xù)輸出
功率穩(wěn)定度	≤2W
反射功率	70W
電源保護(hù)設(shè)置	DC過流保護(hù)，功放過溫保護(hù)，反射功率保護(hù)
供電電壓/頻率	單相交流（187V-253V）50-60HZ
冷卻方式	風(fēng)冷
整機(jī)重量	13.5KG
隨機(jī)贈(zèng)送	石英管1支、坩堝鉤、爐塞、密封圈、水冷機(jī)、硅膠管、內(nèi)六角扳手、說明書、保修卡等
售后服務(wù)	整機(jī)質(zhì)保一年，終身保修（加熱元件、密封圈等隨機(jī)贈(zèng)送配件不屬于質(zhì)保范圍）

1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。