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日立超高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000II

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主要特點(diǎn)：日立高新超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000II是專門(mén)為電子束敏感樣品和需300萬(wàn)倍穩(wěn)定觀察的半導(dǎo)體器件，高分辨成像所設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

主要特點(diǎn)：
日立高新超高分辨率冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000II是專門(mén)為電子束敏感樣品和需300萬(wàn)倍穩(wěn)定觀察的半導(dǎo)體器件，高分辨成像所設(shè)計(jì)。
?新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能。
0.4nm / 30kV（SE）
0.7nm / 1kV（SE）
0.34nm / 30kV（STEM）
?用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現(xiàn)高效率截面觀察。
?采用全新設(shè)計(jì)的Super E x B能量過(guò)濾技術(shù)，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號(hào)。
?STEM的明場(chǎng)像能夠調(diào)整信號(hào)檢測(cè)角度，明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像和二次電子圖像可以同時(shí)顯示并拍攝照片。
?與FIB兼容的側(cè)插樣品桿提高更換樣品效率和高倍率圖像觀察效率。

應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 半導(dǎo)體器件
2. 高分子材料
3. 納米材料
4. 生命科學(xué)

關(guān)鍵詞：電子顯微鏡

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