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合肥瑞生儀器有限公司
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所 在 地合肥市
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更新時間：2024-04-30 11:33:14瀏覽次數(shù)：163次
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低加速電壓下高分辨
3 KV加速電壓下分辨率7 nm，5 KV加速電壓時背散射電子分辨率可達(dá)10 nm
SU3500 采用全新電子光學(xué)系統(tǒng)，圖像質(zhì)量進(jìn)一步提升。全新設(shè)計的低球差物鏡和偏壓系統(tǒng)保證低加速電壓下的高發(fā)射束流，所以
二次電子分辨率在 3 KV 是可達(dá) 7 nm，背散射電子的分辨率在 5 KV 時可達(dá) 10 nm
減輕荷
減輕荷電掃描模式為：快速多次對一行進(jìn)行掃描取得信號后再掃描下一行，因此，電子束在同一位置的停留時間得以縮短，比通常的慢掃模式對減輕荷電及電子束損傷更有效。
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