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透射電子顯微鏡是的提供在較高時間分辨率下得到原子級空間分辨率的實驗手段
透射電子顯微鏡是的提供在較高時間分辨率下得到原子級空間分辨率的實驗手段。透射電子顯微鏡加熱與電學芯片系統(tǒng)是在標準外形的透射電鏡樣品桿內安裝MEMS工藝制成的微加熱芯片和電學測量芯片。微加熱芯片可對樣品進行可控溫度的加熱，電學測量芯片可對樣品進行電性質測量。并可在進行加熱和電學測量的同時，動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結構、化學組分、元素價態(tài)進行綜合表征，極大拓展了透射電鏡的功能和應用范圍。
本系統(tǒng)硬件包含兩部分：加熱和電學測量控制器及原位芯片樣品桿。軟件系統(tǒng)包括自動控溫軟件和自動電學測量軟件。
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