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PCE-6 小型等離子清洗機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2023-01-24 09:41:13瀏覽次數(shù):448次

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聯(lián)系人:廖勝眉

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述:PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 160mm190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

詳細(xì)介紹

PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

功能特點(diǎn)
  • 擁有6英寸清洗腔室,可清洗約5英寸直徑的基片
  • 通過控制面板的按鍵及開關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時(shí)間
  • 時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上
  • 設(shè)有一個(gè)三通閥,可大體控制進(jìn)氣流量
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W

● 總功率:<600W

● 射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)

● 電源:AC220V 50Hz

等離子腔體

● 高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有Φ45mm 的觀察窗

● 帶觀察窗的鉸鏈?zhǔn)介T,便于樣品加載和觀察

控制面板

● 控制功能:清潔時(shí)間,射頻功率,真空泵。

真空泵(標(biāo)配)

● 真空泵:24L/min,直連式雙旋真空泵

等離子清洗機(jī)及刻蝕的方法

惰性氣體

● 通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)

● 等離子清洗機(jī)不得使用易燃及腐蝕性氣體

可選配件

● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案,PCE-6等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合

● 您可以訂購(gòu)石英晶片載體來盛放清潔的基片

外形尺寸

400mm×300mm×300mm

凈重

10.2kg

認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

● 一年保修,終身技術(shù)支持。

● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。



關(guān)鍵詞:清洗機(jī) 真空泵
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