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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司


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PCE-500W 500W等離子刻蝕清洗機(jī)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間：2023-01-12 09:50:34瀏覽次數(shù)：350次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：405條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：廖勝眉

產(chǎn)品簡介

簡要描述：PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 “dia x 14.4“L的石英腔體，采用的射頻電源頻率為13.56MH，功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高，可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用，對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。

詳細(xì)介紹

PCE-500W是一款較大型的500W等離子刻蝕清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔體，采用的射頻電源頻率為13.56MH，功率0 -500W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備功率高，可用于等離子刻蝕、等離子灰化、表面改性以及材料摻雜改性等應(yīng)用，對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。

技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

● 射頻功率：0-500W

● 總功率：1.5KW

● 電源：AC220V 50/60Hz

射頻電源

● 射頻功率可在0-500W之間調(diào)節(jié)

● 頻率：13.56MHz

注：可與本公司工作人員聯(lián)系選購1KW高功率等離子刻蝕清洗機(jī)

等離子腔體

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高純石英腔體

● 鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封

● 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

● 此設(shè)備屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏

控制面板

● 通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等

● 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計，可精確地控制進(jìn)氣流量

真空泵（選配）

● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

● 極限真空度為80mTorr（參考值，具體請點擊）

●

通入氣體

● 等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）

● 不能使用及腐蝕性氣體。

可選

● 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片

● 可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

●

外形尺寸

620 L ×600 W ×600 H mm

認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

● 一年保修，終身技術(shù)支持。

● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點擊查看售后服務(wù)承諾書。

相關(guān)應(yīng)用

● 請自行根據(jù)您的應(yīng)用測試等離子功率

● 對于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 - 30W之間

● 對于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在35 - 80W之間

● 可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源



關(guān)鍵詞：清洗機(jī) 真空泵

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