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晶圓真空固化爐

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：林先生 查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2021-09-10 17:10:55瀏覽次數(shù)：386次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：12條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：林先生

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品用途：本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設(shè)備

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品用途：
本產(chǎn)品是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化 的專用設(shè)備，烘箱溫度可達(dá)450°c
性能特點(diǎn)：
?真空度可達(dá)10 Pa
?箱體內(nèi)氧含量：≤20ppm，提供氧含量檢測(cè)接口 
?曰本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制 

?內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作 



型號(hào)MODEL

SXYJ-1

SXYJ-2

內(nèi)箱尺寸（H*W*D) CM Interior dimensions

20*20*40

30*30*60

溫度范_ Temp.range

RT+20°C ?450°C

溫度波動(dòng)度 Temp.constancy

士 0.5°C

真空度
vacuum

lOpa

氧含量
oxygen content

≤20ppm

內(nèi)箱材質(zhì) Interior material

SuS316 不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質(zhì) Exterior material

鋼板靜電噴涂表面處理Baked Painting Steel

保溫材料 Insulatio material

硅酸錦纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護(hù)裝置 Safety devices

聲光報(bào)警器超溫保護(hù)器Audible and visual alarm，Over Temp

功率（kva)

9.0

12.0

電源
Power

AC380V±10%3φ 50HZ 

*歡迎訂制不同規(guī)格尺寸的非標(biāo)準(zhǔn)烘箱



關(guān)鍵詞：保溫材料
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