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行業(yè)產(chǎn)品

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青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司


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PECVD設(shè)備

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)CC-200

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商

所  在  地青島市

聯(lián)系方式：張女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2021-08-31 15:08:00瀏覽次數(shù)：326次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷(xiāo)商

商鋪產(chǎn)品：10條

所在地區(qū)：山東青島市

聯(lián)系人：張女士 （商務(wù)）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Load-lock式Plasma CVD設(shè)備CC-200/400是小型的使用便利的可對(duì)應(yīng)從研究開(kāi)發(fā)到量產(chǎn)的設(shè)備。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
Load-lock式Plasma CVD設(shè)備CC-200/400是小型的使用便利的可對(duì)應(yīng)從研究開(kāi)發(fā)到量產(chǎn)的設(shè)備。                                     

產(chǎn)品特性：
• 27.12MHz高密度等離子制程
 
• SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可對(duì)應(yīng)SiO2膜
 
• 以CF4+O2 Plasma實(shí)現(xiàn)腔體清潔功能
 
• 可對(duì)應(yīng)有機(jī)EL（OLED）的低溫成膜用heater
 
• 使用Tray可搬送多種基板尺寸
 
• 通過(guò)使用真空Box實(shí)現(xiàn)C系列的間接連續(xù)制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）

產(chǎn)品應(yīng)用：
• 功率器件

• LED、LD、高速device等化合物相關(guān)

• 有機(jī)EL（OLED）開(kāi)發(fā)

• 太陽(yáng)電池開(kāi)發(fā)




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