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無氧烘箱 PI膠烘箱高溫?zé)o塵無氧烘箱

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普遍應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
主要特點：箱體選用全陶瓷纖維保溫，具有升溫快、節(jié)能等特點，優(yōu)良的送風(fēng)、排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐箱溫度均勻，吸風(fēng)口玻纖過濾器，確保潔凈度的要求。
一、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：
1、潔凈度：Class100級
2、氧含量（配氧分析儀）：
   高溫狀態(tài)氧含量：≤ 10ppm +氣源氧含量;
   低溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
3、使用溫度：RT～400℃，溫度：450℃
4、溫度均勻度：150℃±1.5%，350℃±2%以內(nèi)（空載測試）；
5、空爐升溫時間：1.5h；
6、空爐降溫時間：375℃--80℃；降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風(fēng)冷)；
7、智能控制系統(tǒng)：日本歐姆龍PCL+PC工控電腦

關(guān)鍵詞：過濾器

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