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行業(yè)產(chǎn)品

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山東華興二手化工設(shè)備購銷有限公司


二手85型單晶爐

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地濟(jì)寧市

聯(lián)系方式:張紅賓查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2021-06-09 23:32:25瀏覽次數(shù):452次

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產(chǎn)品簡介

*二手單晶爐二手華盛天龍單晶爐*,咨詢方式;.;張紅賓。二手單晶爐設(shè)備中國二手供應(yīng)商。山東華興二手化工設(shè)備有限公司*二手單晶爐。

詳細(xì)介紹

單晶爐*;咨詢方式;.;張紅賓。

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單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。

中文名

單晶爐

外文名

monocrystal furnace

類    別

工業(yè)爐

目錄

  1. 1 單晶爐的構(gòu)成
  2. 2 單晶爐的定義
  3. 3 購買技術(shù)主要要求
  1. 4 單晶爐型號(hào)定義
  2. 5 單晶爐主要需要控制的方面
  1. 6 單晶爐熱場的設(shè)計(jì)與仿真

單晶爐的構(gòu)成

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提拉頭:主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成

? 副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成

? 爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成

? 爐筒:包括取光孔

? 下爐筒:包括抽真空管道

? 底架:全鑄鐵機(jī)架和底座

? 坩堝下傳動(dòng)裝置:主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成

? 分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進(jìn)水水管,若干膠管 水管卡套等

? 氬氣管道布置:質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測器 高密封性卡套 等部件

? 真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等

? 電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線

單晶爐的定義

編輯

單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。

購買技術(shù)主要要求

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1.單晶爐裝料量(單臺(tái)機(jī)產(chǎn)能多少) 2. 能拉多長、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質(zhì)(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯(cuò)密度) 5設(shè)備制造工藝控制保證 6自動(dòng)化控制程度 7設(shè)備主要關(guān)鍵部件的配置等 。

單晶爐型號(hào)定義

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單晶爐型號(hào)有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號(hào)是由裝料量來決定的

單晶爐主要需要控制的方面

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一、晶體直徑(尺寸)

二、溫度(功率控制)

三、原料(硅料)

四、泄漏率,氬氣質(zhì)量等

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單晶爐熱場的設(shè)計(jì)與仿真

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單晶直徑在生長過程中可受到溫度,提拉速度與轉(zhuǎn)速,坩堝跟蹤速度與轉(zhuǎn)速,保護(hù)氣體的流速等因素的影響。其中溫度主要決定能否成晶,而速度將直接影響到晶體的內(nèi)在質(zhì)量,而這種影響卻只能在單晶拉出后通過檢測才能獲知。溫度分布合適的熱場,不僅單晶生長順利,而且品質(zhì)較高;如果熱場的溫度分布不是很合理,生長單晶的過程中容易產(chǎn)生各種缺陷,影響質(zhì)量,情況嚴(yán)重的出現(xiàn)變晶現(xiàn)象生長不出來單晶。因此在投資單晶生長企業(yè)的前期,一定要根據(jù)生長設(shè)備,配置出zui合理的熱場,從而保證生產(chǎn)出來的單晶的品質(zhì)。在晶體生長分析與設(shè)計(jì)中,實(shí)驗(yàn)與數(shù)值仿真是相輔相成的,其過程可以分為兩個(gè)部分:

(1)在*階段,利用引上法晶體生長實(shí)驗(yàn)來進(jìn)行數(shù)值模擬參數(shù)的調(diào)整。

(2)在第二階段,利用數(shù)值模擬是用來確定*的晶體生長工藝參數(shù)。

數(shù)值仿真是用來獲得廉價(jià)的,完整的和全面細(xì)節(jié)的結(jié)晶過程,以此方法用來預(yù)測晶體生長,改善晶體生長技術(shù)。數(shù)值模擬是當(dāng)實(shí)驗(yàn)的費(fèi)用太昂貴或無法常規(guī)進(jìn)行時(shí)一種非常有用或*的方法。舉例來說,對(duì)于無經(jīng)驗(yàn)人員,可以形象化展示熔體流動(dòng)的歷史點(diǎn)缺陷和熱應(yīng)力細(xì)節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達(dá)到較高生產(chǎn)率和較好滿足市場對(duì)晶體直徑,質(zhì)量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計(jì)算機(jī)模擬可以設(shè)計(jì)和優(yōu)化工作流程。通過對(duì)單晶爐熱場的仿真計(jì)算,優(yōu)化設(shè)計(jì)單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu),在拉晶過程中以仿真結(jié)果設(shè)定合理的理論拉晶曲線,就可以在實(shí)際生產(chǎn)中是*可以生長出合格的單晶棒。

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