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詳細(xì)摘要： 超精密氣浮轉(zhuǎn)臺氣浮轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)經(jīng)過特別優(yōu)化，具有大的空氣承載表面，提供*的剛度和負(fù)載能力，不僅具有極小的軸向和徑向運動誤差，還有小化的角擺誤差。