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雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) 詳細摘要: 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避...
產(chǎn)品型號: 所在地:合肥市 更新時間:2019-07-07 參考價: 面議 在線留言
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詳細摘要: 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避...
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