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詳細(xì)摘要： 超高真空排氣系統(tǒng) 用于器件真空排氣，可實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制，長時間工作可無人值守，可配置產(chǎn)品加熱除氣爐，一體式制造，根據(jù)客戶要求定制設(shè)備。