• 可編程多氣體/多量程功能

• Brooks® MultiFlo™ 氣體數(shù)據(jù)庫包含數(shù)千種天然氣體測定結(jié)果，可用于建立修正函數(shù)

• 流量響應(yīng)時間不足 1 秒，精度可達目標(biāo)應(yīng)用設(shè)定值的 1%

• 非常適用于各種氣體

• 快速響應(yīng)，哈氏合金傳感器

• 擁有獨立于工具通信并可輕松接入的診斷服務(wù)端口

• 多協(xié)議通信選件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模擬接口

優(yōu)勢

• MultiFlo™ 技術(shù)能夠在不拆除管路中 MFC 的條件下設(shè)定新氣體和滿量程，從而大限度延長運行時間

• MultiFlo™ 編程功能簡單、易用；60 s 內(nèi)即可完成新氣體的選擇操作

• 可大幅降低設(shè)備商和大型終端用戶的流量控制器庫存

• 得益于基于標(biāo)準(zhǔn)的高級計量系統(tǒng)和校準(zhǔn)技術(shù)，產(chǎn)品擁有出色的工藝氣體測量精度

• 耐腐蝕傳感器擁有*的*穩(wěn)定性，可確保良率和產(chǎn)能大化

• 對用戶開放的服務(wù)端口簡化了故障排除和診斷操作

• 各種橡膠密封件為各種應(yīng)用提供了經(jīng)濟實惠的性能靈活性

• 多協(xié)議通信接口可集成至現(xiàn)有系統(tǒng)

BROOKS 質(zhì)量流量控制器 SLA5853S2GAB2C2A1,

　　BROOKS 備件 SLA5853S2HAB3C2A1

　　BROOKS 氣體流量控制器 SLA5860SB1DA0C2A1

　　BROOKS 轉(zhuǎn)子流量計 1306BBK111G00,1306B O-Seal,

　　BROOKS 流量計 SLA5853S2NAB2C2A1

　　BROOKS 備件 5850E/B1A1B4B0

　　BROOKS 備件 SLAMF60S1PAA0K2A2

　　BROOKS 質(zhì)量流量計 SLA5850SB1BC1C2A1

　　BROOKS 壓力傳感器 GFD01G4BSM

　　BROOKS 質(zhì)量流量計 SLA5863S2GAA0C2A1,,

　　BROOKS 流量計 5850EC4BS44B2A

　　BROOKS 壓力傳感器 GFD30A4BSM

　　BROOKS 流量傳感器 SLA5860P1HAA0C2A1

　　BROOKS CO2質(zhì)量流量計 SLA5850S1BBC1C2A1

　　BROOKS 乙炔質(zhì)量流量計 SLA5853S2NAB3C2A1

　　BROOKS 備件 SLA5853S2EDD3C2A1

　　BROOKS 備件 5850E/B1A1B2B0

　　BROOKS 質(zhì)量流量控制器 GF125CXXC-0110001L-VXVO DX-0924AX-000

　　BROOKS 量流量計 SLA5853S2EAB3C2A1

　　BROOKS 備件 CMCAT1132BR