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熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 NanoTR / PicoTR

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更新時(shí)間:2022-11-09 13:05:36瀏覽次數(shù):374

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熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 NanoTR / PicoTRNano TR熱反射法薄膜導(dǎo)熱系數(shù)測(cè)量?jī)x采用熱反射法精確可靠地測(cè)定薄膜的熱擴(kuò)散系數(shù),是目前市場(chǎng)上*精確的的薄膜導(dǎo)熱測(cè)量方法,滿足不同樣品的測(cè)試需求。

詳細(xì)介紹

熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 NanoTR / PicoTR

測(cè)量原理

熱反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光閃射系統(tǒng),可測(cè)量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數(shù),如熱擴(kuò)散系數(shù)(Thermal Diffusivity)、熱導(dǎo)率(Thermal Conductivity)、吸熱 系數(shù)(Thermal Effusivity)和界面熱阻。

由于激光閃射時(shí)間僅為納秒(ns)量級(jí),甚至可達(dá)到皮秒(ps)量級(jí),此系統(tǒng)可測(cè)量厚度低至10nm的薄膜。同時(shí),系統(tǒng)提供不同的測(cè)量模式,以適應(yīng)于不同的基片情況(透明/不透明)。

該方法符合標(biāo)準(zhǔn):
JIS R 1689:通過(guò)脈沖激光熱反射方法測(cè)量精細(xì)陶瓷薄膜的熱擴(kuò)散系數(shù);
JIS R 1690:陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測(cè)量方法。

NanoTR / PicoTR - 技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)NanoTRPicoTR
溫度范圍RT,RT … 300°C(選件)RT,RT … 500°C(選件)
真空度N/A10-6 mbar(選件)
測(cè)量模式RF/FFRF/FF
樣品尺寸10x10 ... 20x20 mm10x10 ... 20x20 mm
薄膜厚度RF:
金屬:1 ... 20µm
陶瓷:300nm ... 5µm
聚合物:30nm ... 2µm
FF:> 1µm
RF:
金屬:100nm ... 900nm
陶瓷:10nm ... 300nm
聚合物:10nm ... 100nm
FF:> 100nm
基片厚度< 1mm< 1mm
熱擴(kuò)散溫升時(shí)間10ns ... 10µs10ps ... 10ns
熱擴(kuò)散系數(shù)0.01…1000 mm2/s0.01…1000 mm2/s
測(cè)量精度5%(RF), 10%(FF)5%(RF), 10%(FF)
操作系統(tǒng)Windows 7Windows 7

熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 NanoTR / PicoTR

 

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