高純水的標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89［168］，目前按高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級(jí)水分為五個(gè)級(jí)別：Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)、Ⅲ級(jí)、Ⅳ級(jí)和Ⅴ級(jí)，該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)而制定的。

高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有：1、微電子工藝對(duì)水質(zhì)的要求；2、制水工藝的水平；3、檢測(cè)技術(shù)的現(xiàn)狀。

在高純水的生產(chǎn)過(guò)程中，水中的陰、陽(yáng)離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術(shù)等去除；水中的顆粒一般可用超過(guò)濾、膜過(guò)濾等技術(shù)去除；水中的細(xì)菌，目前國(guó)內(nèi)多采用加藥或紫外線燈照射或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應(yīng)用的領(lǐng)域中，水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導(dǎo)致低擊穿，產(chǎn)生缺陷，還影響材料的使用壽命，因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。

天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、等，在高純水的生產(chǎn)過(guò)程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì)，在生產(chǎn)高純水的過(guò)程中，加入了一些化學(xué)殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。