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菏澤電子工廠中潔凈室的幾種型式

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  • 型號(hào) HZD
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 青島市

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更新時(shí)間:2020-07-21 15:45:04瀏覽次數(shù):353

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菏澤電子工廠中潔凈室的幾種型式按氣流流型劃分潔凈室時(shí),可劃分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線

詳細(xì)介紹

菏澤電子工廠中潔凈室的幾種型式

         近年來(lái),電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室有多種形式,根據(jù)在電子工廠中已實(shí)際應(yīng)用的各種類(lèi)型的潔凈室形式進(jìn)行簡(jiǎn)單描述。

    1根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求,空氣潔凈度等級(jí)和平面或空間布置要求,微電子廠房潔凈室布置形式一般有隧道式或港灣式、開(kāi)放式、島形布置。如集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開(kāi)放式,其中隧道式潔凈室主要用于5〞6〞芯片制造廠,生產(chǎn)工藝設(shè)備跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū),潔凈生產(chǎn)區(qū)對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格,而維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)較低。目前8〞12〞芯片制造工廠普遍采用開(kāi)放式潔凈室加微環(huán)境的方式,將芯片制造過(guò)程對(duì)空氣潔凈室的潔凈度等級(jí)只需要5-6級(jí),這種潔凈室形式即可做到工藝布置的靈活性,又可做到減少建設(shè)投資和降低能量消耗、降低運(yùn)行費(fèi)用等。

    2按氣流流型劃分潔凈室時(shí),可劃分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線;下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱貨循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過(guò)濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可以一層或二層。

         菏澤電子工廠中潔凈室的幾種型式,非單向流潔凈室是采用非單向流氣流流型的潔凈室,主要用于空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)的潔凈室,此類(lèi)潔凈室當(dāng)單側(cè)回風(fēng)室其寬度一般不大于6m?;旌狭鳚崈羰沂窃谕粷崈羰覂?nèi),同時(shí)存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室。

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