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東莞市品雅真空設(shè)備有限公司
主營產(chǎn)品： 真空泵，真空泵油，真空泵耗材，真空泵維修 |
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更新時(shí)間：2015-12-16 08:33:55瀏覽次數(shù)：518
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彈性變形真空計(jì)利用彈性元件在壓力差作用下產(chǎn)生彈性變形的原理而制成的一種直接測(cè)量真空計(jì)。根據(jù)彈性變形量的測(cè)量方式劃分 , 有機(jī)械傳動(dòng)式和電量測(cè)量式。
(1) 機(jī)械傳動(dòng)式：彈性元件在壓力差的作用下產(chǎn)生的彈性變形，通過機(jī)械傳動(dòng)來驅(qū)動(dòng)顯示儀表。具體形式有彈簧管式、膜盒式和膜片式，它們的外觀呈壓力表形，又稱指針式真空表。
(2) 電容式薄膜真空計(jì) : 根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì) , 它由電容式薄膜規(guī)管(又稱為電容式壓力傳感器)和測(cè)量儀器兩部分組成。根據(jù)測(cè)量電容的不同方法 ,儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補(bǔ)償法，具有較高的測(cè)量精度。目前在*作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。
近年來 , 電容式薄膜真空計(jì)取得了重大進(jìn)展，新型的雙電容式薄膜真空計(jì)的問世，提高了該類真空計(jì)的精度 , 擴(kuò)展了測(cè)量范圍 , 使其測(cè)量下限可達(dá)10-3Pa。單側(cè)雙電容薄膜真空計(jì)具有靈敏度高 、氣體的介電常數(shù)不變 、壓力讀數(shù)*不受氣體成分影響、反應(yīng)速度快等特點(diǎn)。如將其規(guī)管參考室內(nèi)加置消氣劑并抽至≤10-5Pa，就可測(cè)量≤10-3Pa的壓力。
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