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9.1 低溫泵
低溫泵的原理是：設(shè)法使某一固體表面溫度足夠低，使其低于空氣中主要氣體成分的飽和蒸汽壓溫度，則空氣中的大部分氣體被凝結(jié)。
實際使用上，是在泵的低溫表面上粘貼固體吸附劑，這種泵叫做低溫吸附泵。吸附劑可以是非金屬 , 如活性碳、分子篩等 ; 也可以將蒸發(fā)或升華在冷面上的鈦、鋯、鉬等金屬或其合金作為吸附劑。另外 , 像二氧化碳、水蒸氣這樣易冷凝的氣體 , 在低溫表面被冷凝時，能將不易冷凝的氣體（如氦）也一起埋葬或捕集吸附。
9.2 濺射離子泵
利用電磁場激發(fā)產(chǎn)生離子，離子在電場作用下轟擊鈦板，濺射出來的鈦原子沉積在陽極筒和陰極板上，形成鈦膜而吸氣。
9.3 鈦升華泵
用加熱的辦法使鈦升華在一個冷卻的表面上，對氣體進(jìn)行薄膜抽氣的裝置。