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目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響,一般傳統(tǒng)的真空泵系統(tǒng)已無法滿足清潔無油、耐腐蝕、耐可凝性蒸汽以及能在惡劣的工況下運(yùn)行的需要,因此近幾年來干式真空泵發(fā)展很快,真空獲得產(chǎn)品出現(xiàn)了更新?lián)Q代的局面。
干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。
干式真空泵的優(yōu)點(diǎn):
成本低:不耗油,無滴漏
穩(wěn)定性:干式真空泵的性能穩(wěn)定,噪音低,故障率低,因此減少維修成本。
適應(yīng)力強(qiáng):工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層,可適應(yīng)惡劣工況
應(yīng)用廣泛
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用范圍:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。
干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn),得到越來越多制造和應(yīng)用單位的重視,日本堅(jiān)山KASHIYAMA工業(yè)株式會(huì)社,多年來致力于真空技術(shù)的研究,不斷開發(fā)進(jìn)取,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,獲得了客戶的高度評(píng)價(jià)與信賴。
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