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真空干燥機(jī)的抽真空系統(tǒng)由真空泵以及他的附屬的設(shè)備，真空泵可以是機(jī)械真空泵，也可以是蒸汽噴射泵。在用機(jī)械真空泵作為真空干燥機(jī)的真空泵時(shí)，為了能夠達(dá)到密度比較高的真空度，一般是采用真空泵組的，與此同時(shí)為了防止外界進(jìn)入的氣體中帶有的水分進(jìn)入到真空泵內(nèi)，在真空泵與其他設(shè)備之間會(huì)裝有一個(gè)蒸汽冷凝器和氣水分離器。

真空干燥機(jī)的加熱系統(tǒng)會(huì)根據(jù)熱載體的不同從而改變。熱載體可以是飽和的蒸汽以及過飽和的蒸汽等物料。一般我們采用的是飽和的蒸汽作為用于在真空干燥機(jī)進(jìn)行脫水干燥處理中的熱載體，因?yàn)轱柡偷恼羝膬?nèi)部結(jié)構(gòu)比較簡單，不需要?jiǎng)e的附屬裝置來進(jìn)行處理。

真空干燥機(jī)干燥的質(zhì)量比較高，可以在溫度比較低的干燥條件下進(jìn)行脫水干燥處理，并且適合對易氧化或者熱敏行的物料進(jìn)行脫水干燥處理。