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?如何選購勻膠機？

來源：南北儀器有限公司 2021年11月26日 11:25 733

　　如何選購勻膠機？

　　勻膠機是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度。那么，你知道勻膠機如何選購嗎？

　　從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細(xì)節(jié)

　　1.旋轉(zhuǎn)速度

　　轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標(biāo)定實時的轉(zhuǎn)速。勻膠機雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。建議購買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，

　　2.真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

　　真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯(lián)動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉(zhuǎn)。

　　3.材質(zhì)的選擇

　　對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。例如等型號都是采用聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆，PTFE)材質(zhì)。

　　以上就是關(guān)于勻膠機選購的相關(guān)內(nèi)容，通過以上內(nèi)容可以知道勻膠機的選購要注意三方面，大家可以詳細(xì)了解下，希望對大家有所幫助。

關(guān)鍵詞：真空泵

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