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保定蘭格恒流泵有限公司
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閱讀:495發(fā)布時間:2020-12-24
用于CMP應(yīng)用中的漿料輸送和分配的其他技術(shù),例如流動回路控制器,通常需要內(nèi)部空氣,這通常會在處理工具中呈現(xiàn)清潔問題。但是使用精密蠕動泵,漿料始終不會在管道內(nèi)受到污染。而且,使用硅膠管,即使在連續(xù)運(yùn)行3-6個月后,與舊的蠕動管配方相關(guān)的散裂問題也不會成為問題,并且壓力和流量一致性沒有損失。
精密蠕動泵適用于各種管尺寸,高科技管材和新型*泵頭設(shè)計(jì)可長時間長時間提供準(zhǔn)確,可靠和可重復(fù)的連續(xù)流體傳輸。準(zhǔn)確擠出,流量,可提高管道壽命,精度和壓力性能。
多種管道選項(xiàng)和各種高性能泵頭可滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)的挑戰(zhàn)性要求,包括輸送鎢和氧化物漿液,去離子水和氫氧化銨。對于這些關(guān)鍵應(yīng)用,是“當(dāng)性能重要時”的理想選擇。
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