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雙頻激光干涉儀

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更新時(shí)間：2017-10-02 04:56:01瀏覽次數(shù)：483次

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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量等，通過配合使用球桿儀，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量，從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱：雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品型號(hào)：ZLM700

產(chǎn)品產(chǎn)地：德國(guó)

制造商：德國(guó)耶拿爾JENAer公司

詳細(xì)介紹:

在德國(guó)，耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾（JENAer）公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中，由于具有*的性能優(yōu)勢(shì)和簡(jiǎn)單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理，德國(guó)耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻。

其主要功能包括：定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量等，通過配合使用球桿儀，還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量，從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。

ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量，廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。德國(guó)耶拿爾具有以下性能優(yōu)勢(shì)：

l 真正意義上的，兩個(gè)光束的頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“”的區(qū)別。*精度更好、性能更穩(wěn)定。

l 全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 測(cè)量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，各種測(cè)量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測(cè)量直線度），則僅采購(gòu)所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時(shí)可以不采購(gòu)；若后期有其他功能的需求，補(bǔ)充采購(gòu)功能對(duì)應(yīng)的部件即可。

l 激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。

l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。

l 采樣頻率更快，zui高達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。

l 被測(cè)物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。

l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。

l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，請(qǐng)選用ZLM800型，zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。

工作原理

型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測(cè)量，不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差，信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。

采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此，ZLM700特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM700	使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長(zhǎng)：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時(shí)2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：	1mW （激光等級(jí)2）
每束光可測(cè)量的軸數(shù)：	1
線性測(cè)量距離：	40m，可擴(kuò)展為120m
角度測(cè)量范圍：	± 15°，20m軸線范圍
平面度測(cè)量范圍：	20m行程
直線度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程，選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：	4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度
zui大加速：	無限制
zui高采樣頻率：	內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：	10分鐘
精度/非線性：	±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡）
距離測(cè)量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
距離測(cè)量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測(cè)量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
線性度測(cè)量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測(cè)量精度：	±0.5ppm實(shí)測(cè)值
角度測(cè)量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
角度測(cè)量精度：	±0.1ppm實(shí)測(cè)值
平面度測(cè)量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
平面度測(cè)量精度：	±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測(cè)量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直線度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程
垂直度測(cè)量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：	積分信號(hào) 32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間） Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝

與歐洲某品牌激光干涉儀的參數(shù)對(duì)比

	耶拿爾干涉儀	歐洲某品牌
	型M700	型號(hào)：XX-XX
工作原理:	雙頻激光干涉原理（外差式, 頻差640MHz）	單頻零差式激光干涉原理，采用遠(yuǎn)程干涉測(cè)量法
波長(zhǎng):	632.991nm	632.991nm
激光輸出功率:	<1mW Class II （可選 Class 3R）	<1mW Class II
1小時(shí)內(nèi)穩(wěn)頻精度:	0.002ppm	0.04ppm
產(chǎn)品壽命內(nèi)穩(wěn)頻精度:	0.02ppm	0.1ppm/年
壽命:	約20000小時(shí)	約8000小時(shí)
穩(wěn)定工藝:	溫度穩(wěn)定法（對(duì)兩種模式進(jìn)行比較，外差式）	零差式（1種模式）
激光束直徑:	6mm （可選3.2mm）	6mm
每束激光可測(cè)量的軸數(shù):	1-6	1
測(cè)量范圍
距離 :	0...40m，可選120m	0...40m，可選80m
角度:	± 15°，軸線范圍20m	± 5° ，軸線范圍15m
直線度:	0-2m 或 0-10m	0.1-4m 或 1-30m
垂直度:	0-2m 或 0-10m	0.1-4m 或 1-30m
分辨率
距離（使用角隅反射鏡） :	0.6 nm，速度v= 4m/s	1nm，速度v=4m/s
	0.3 nm，速度v= 2m/s
	0.1 nm，速度v= 1m/s
角度:	0.003角秒（0.015µrad）	0.1µrad
直線度（短距離）:	7nm	10nm
垂直度（短距離）:	7nm	10nm
直線度（長(zhǎng)距離）:	36nm	100nm
垂直度（長(zhǎng)距離）:	36nm	100nm
精度
距離:	+/-0.4ppm	+/-0.5ppm
角度:	+/-0.1ppm	+/-0.6%實(shí)測(cè)值
直線度（短距離）:	+/-0.5%實(shí)測(cè)值	+/-0.5%實(shí)測(cè)值
垂直度（短距離）:	+/-0.5%實(shí)測(cè)值	+/-0.5%實(shí)測(cè)值
直線度（長(zhǎng)距離）:	+/-2.5%實(shí)測(cè)值	+/-2.5%實(shí)測(cè)值
垂直度（長(zhǎng)距離）:	+/-2.5%實(shí)測(cè)值	+/-2.5%實(shí)測(cè)值
光學(xué)鏡（直線度用）:	差分干涉鏡	無（僅使用一個(gè)Wollaston棱鏡）
系統(tǒng)的線性度:	非常好（這是因?yàn)槭褂昧瞬罘指缮骁R）	不明（取決于Wollaston棱鏡質(zhì)量）
可測(cè)量到的偏差范圍
直線度:	+/- 5mm	+/-2.5mm
垂直度:	+/- 5mm	+/-2.5mm
輔助調(diào)節(jié):	計(jì)算機(jī)輔助調(diào)節(jié)	小孔
接口:	PCI	USB
	cPCI （PXI）
	USB
	AquadB （積分信號(hào)）
	32bit實(shí)時(shí)
采樣速度:	0.001Hz - 1MHz （可調(diào)）	50 kHz