測(cè)量超純水、純水可以選用液體渦輪、超聲波流量計(jì)。超聲波流量計(jì)適用超純水系統(tǒng)超純水設(shè)備應(yīng)用，超聲波流量計(jì)采用低電壓、多脈沖時(shí)差測(cè)量基本原理：一個(gè)探頭發(fā)送數(shù)據(jù)信號(hào)越過(guò)壁厚、物質(zhì)、另一側(cè)壁厚后，被另一個(gè)探頭接受到，另外，第二個(gè)探頭一樣發(fā)送數(shù)據(jù)信號(hào)被前面發(fā)射信號(hào)的探頭接受到，因?yàn)樵馐芪镔|(zhì)水流量的危害，二者存有時(shí)差Δt,依據(jù)測(cè)算能夠算出水流量V和時(shí)差Δt中間的計(jì)算關(guān)聯(lián)V=(C2/2L)×Δt，從而能夠獲得流量值Q。超聲波流量計(jì)是一種非接觸式儀表，它既能夠測(cè)量大管徑的流體流量還可以用以測(cè)量不容易觸碰和觀察的物質(zhì)的測(cè)量。幾乎不受被測(cè)物質(zhì)的各種各樣主要參數(shù)的影響，特別是在能夠處理其他儀表不可以的強(qiáng)腐蝕性、非導(dǎo)電率、放射性物質(zhì)及易燃易爆物品物質(zhì)的流量計(jì)原理難題。超聲波流量計(jì)是一種非接觸式儀表，它既可以測(cè)量大管徑的介質(zhì)流量也可以用于不易接觸和觀察的介質(zhì)的測(cè)量。它的測(cè)量準(zhǔn)確度很高，幾乎不受被測(cè)介質(zhì)的各種參數(shù)的干擾，尤其可以解決其它儀表不能的強(qiáng)腐蝕性、非導(dǎo)電性、放射性及易燃易爆介質(zhì)的流量測(cè)量問(wèn)題。使用超聲波流量計(jì)不用在流體中安裝測(cè)量元件故不會(huì)改變流體的流動(dòng)狀態(tài)，不產(chǎn)生附加阻力，儀表的安裝及檢修均可不影響生產(chǎn)管線運(yùn)行。外夾式超聲波流量計(jì)適用測(cè)量超純水系統(tǒng)的流量測(cè)量。
液體渦輪流量計(jì)當(dāng)流體經(jīng)傳感器殼體，由于葉輪的葉片與流向有一定的角度，流體的沖力使葉片具有轉(zhuǎn)動(dòng)力矩，客服摩擦力矩和流體阻力之后葉片旋轉(zhuǎn)，在力矩平衡后轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，在一定條件下，轉(zhuǎn)速與流速成正比，由于葉片有導(dǎo)磁性，處于信號(hào)檢測(cè)器磁場(chǎng)中，旋轉(zhuǎn)的葉片切割磁力線，周期性的改變著線圈的磁通量。性二十線圈兩端感應(yīng)出電脈沖信號(hào)。此信號(hào)經(jīng)過(guò)放大器的放大整形，遠(yuǎn)處到顯示儀表，顯示流體的瞬時(shí)流量和累積流量。渦輪流量計(jì)的輸出是頻率調(diào)制式信號(hào)，不僅提高了檢測(cè)電路的抗干擾性，而且簡(jiǎn)化了流量檢測(cè)系統(tǒng)。液體渦輪流量計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊輕巧，安裝維護(hù)方便，流通能力大。適用高壓測(cè)量，耐磨性好，測(cè)量準(zhǔn)確度高，一般在±0.5%~±1.0%。計(jì)量穩(wěn)定，適合用于貿(mào)易結(jié)算。
一般食品類、藥業(yè)等行業(yè)應(yīng)用的是純凈水、超純水，因這種水不導(dǎo)電，所以不能選用電磁流量計(jì)測(cè)量，而純凈水和超純水對(duì)原材料規(guī)定比較高，因此生產(chǎn)制造時(shí)行為主體原材料務(wù)必應(yīng)用316L，應(yīng)用環(huán)境衛(wèi)生型卡箍接頭，選用液體渦輪流量計(jì)成本會(huì)相對(duì)很高，外夾式超聲波流量計(jì)，非接觸式測(cè)量，安裝簡(jiǎn)單，是相對(duì)比較理想的選擇。
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