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5400系列金屬密封型質(zhì)量流量計控制器

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更新時間：2017-09-16 16:47:40瀏覽次數(shù)：459次

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北京北方華瑞自動化科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：361條

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產(chǎn)品簡介

5400系列金屬密封型質(zhì)量流量計控制器- 高精度控制，- 全316L結(jié)構(gòu)- 金屬密封

詳細(xì)介紹

【概述/特點】
KOFLOC公司簡介: 日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,LCD,燃燒,實驗室分析,生物工藝等場合.
【技術(shù)規(guī)格】
5400系列金屬密封型質(zhì)量流量計控制器經(jīng)濟(jì)型，適用于半導(dǎo)體等行業(yè)，5400是質(zhì)量控制器，5410是質(zhì)量流量計流量范圍：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM 控制閥：常閉，電磁隔膜閥反應(yīng)時間：到達(dá)設(shè)定值±2%范圍內(nèi)≤1秒精度：±1%以內(nèi) 線性：±0.5%以內(nèi) 重復(fù)性：±0.2%以內(nèi) 使用壓差：范圍≤5SLM時，49～294KPA，5SLM <范圍≤20SLM時，147～294KPA 壓力限制：980KPA 泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小操作溫度：0～50°C 接觸介質(zhì)的材質(zhì)：本體: SUS316L 隔膜：Ni-CO 閥座:PTFE 密封材料:Ni,SUS316L 連接：1/4VCR 電氣連接：9針插座控制信號：0-5VDC 輸出信號：0-5VDC 電源：5400：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA 　　　5410：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 100 mA