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產(chǎn)品介紹：
該定制RTP快速退火爐是一款RTP (快速熱處理) 管式爐、多通道質(zhì)子流量計系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達3"）退火而設(shè)計。這款設(shè)備是采用紅外燈加熱，升溫速度是50℃/秒。 30 段精確溫度控制，RS485接口和控制軟件可以通過計算機控制爐子運行并顯示溫度曲線。

應(yīng)用范圍：

退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐，是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備，它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計，采用紅外燈管加熱，升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制，精度為 ±1°C°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	定制RTP系統(tǒng)
部分：管式爐
產(chǎn)品名稱	開啟式上下溫區(qū)RTP管式爐
溫度	1000度
控制器	LCD觸摸屏
爐管尺寸	石英管外徑80mm/內(nèi)徑72mm 單側(cè)開口
加熱區(qū)	300mm
爐型	開啟式
供電電源	電壓：380V；頻率:50 hz；三相
加熱元件	鹵素燈加熱
升溫速率	30 C/秒
熱電偶	K 型熱電偶測物料處溫度
溫度控制器	30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
第二部分混氣系統(tǒng)
量程	MFC1：氧氣（O2）0-200sccm MFC2：氬氣（Ar）0-200sccm
第三部分真空系統(tǒng)
飛越VDR-4 1L/S +粉塵過濾器配套防腐數(shù)顯真空計

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