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該爐是一款能夠快速升溫和降溫的管式爐,其通過紅外燈管加熱達到快速升溫的效果(升溫速率> 50°C/S),通過爐體滑動來達到快速冷卻效果。
應用范圍:
退火爐是一款精巧型快速熱處理管式爐, 是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設備,它是專為半導體或太陽能電池基片的退火而設計,采用紅外燈管加熱,升溫速度為 50°C/秒. 30 段溫度控制,精度為 ±1°C°C. 計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線 。
技術參數:
爐體結構 | 雙層風冷 |
溫度控制 | PID30段程序化控制,并帶有過熱和斷偶保護 |
升溫速率 | 50℃/s |
溫度 | 1100℃;連續(xù)工作溫度:950℃(可達1小時); |
熱電偶 | K型熱電偶測量樣品處溫度; |
管外徑 | 100 mm |
加熱區(qū)長 | 200mm |
加熱元件 | 紅外燈管 |
爐管材質 | 高純石英管 |
可快冷樣品 | 可強迫風冷;吹N2或壓縮空氣。 |
滑動范圍 | 可通過溫控儀表自動控制 ,當溫度程序運行完過后,爐體將按照設定速度從右端滑到左端 |
真空系統(tǒng)(選配) | 旋片泵、擴散泵機組、分子泵機組 |
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