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鄭州科佳電爐有限公司

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高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1500CVD-DZ

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2024-07-12 20:56:20瀏覽次數(shù):100次

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產(chǎn)品介紹:此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)主要用于TaC、HfC等物料及其復(fù)合碳化物等超高熔點(diǎn)涂層化學(xué)氣相沉積制備工藝的研究
產(chǎn)品介紹:
此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)主要用于TaC、HfC等物料及其復(fù)合碳化物等超高熔點(diǎn)涂層化學(xué)氣相沉積制備工藝的研究。
 
產(chǎn)品特點(diǎn):
 1、該系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表,智能控溫?zé)o需要人看守。
2、爐膛采購(gòu)氧化鋁多晶纖維材料。爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封,密封法蘭上安裝有相關(guān)進(jìn)氣口及出氣口
 
應(yīng)用范圍:
   廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
 

產(chǎn)品參數(shù):
 
 
產(chǎn)品名稱定制高溫CVD系統(tǒng)
  沉積爐
產(chǎn)品型號(hào)KJ-T1500CVD-DZ
爐膛模式開(kāi)啟式
爐膛材料氧化鋁耐火纖維
加熱元件U型硅鉬棒
極限溫度1600℃高溫區(qū)     
工作溫度≤1500℃高溫區(qū)    
升溫速率≤10℃/min
加熱溫區(qū)單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū)
溫區(qū)總長(zhǎng)度200、300、400mm
爐管材質(zhì)剛玉管
爐管直徑40、50、60、80、100mm
密封方式定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
底部法蘭有三個(gè)進(jìn)氣口 方便進(jìn)氣
底部法蘭加支架  方便工件放在沉積爐低溫區(qū)
控制模式每個(gè)溫區(qū)單獨(dú) 30段智能PID程序控溫
溫度曲線多段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè)
測(cè)溫元件B型雙鉑銠熱電偶
供電電源220V/380V   50HZ
供氣系統(tǒng)     集成在控制柜上
氣體通道可同時(shí)連接多種氣源
流 量 計(jì)浮子流量計(jì)
A路量程 1L/MIN
B路量程 1L/MIN
C路量程  1L/MIN
氣路壓力-0.1~0.15 MPa
截止閥不銹鋼材質(zhì)
氣體連接管1/4不銹鋼管
氣化爐A、B
溫度700
工作溫度500
爐膛尺寸定制
開(kāi)門(mén)方式上開(kāi)
進(jìn)氣口一個(gè)進(jìn)氣口
出氣口一個(gè)出氣口
售后服務(wù)12個(gè)月質(zhì)保(易耗件及人為損壞除外),終身保修
 
 

 

 

 

 1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊(cè)、保修手冊(cè)、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 

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