依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。
無塵室等級，無塵室標(biāo)準(zhǔn)，無塵室標(biāo)準(zhǔn)定義
一、無塵室定義
將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及
粒子，且指一般空氣清凈機無法*清除之灰塵。
無塵室一般分為電子、精密工業(yè)用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用BiologicalCleanRoo
（BCR）。
二、聯(lián)邦規(guī)格無塵室等級
現(xiàn)今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格（美國航空
署5340.2規(guī)格）。
其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如：空氣中含有10個0.5
以下時，表示為“等級10"。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。
三、在JIS標(biāo)準(zhǔn)下，無塵室清潔度，共分為8個等級
一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2???8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為
1；百個以下是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，一次類推。
21世界，zui*產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕
的變化對商品的完成度亦造成*的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中
用防塵材料及商品都顯得格外重要。
所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境（無塵室）潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造*的要素。
無塵車間標(biāo)準(zhǔn)，潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

一、無塵車間（Clean Room），亦稱為潔凈室或無塵室。
  「無塵車間」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室zui主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「無塵車間」。
二、無塵車間標(biāo)準(zhǔn)-等級

美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)（< USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3
潔凈度級別        粒 徑 （um）
        0.1        0.2        0.3        0.5        5.0
1        35        7.5        3        1        NA
10        350        75        30        10        NA
100        NA        750        300        100        NA
1000        NA        NA        NA        1000        7
10000        NA        NA        NA        10000        70
100000        NA        NA        NA        100000        700

中國藥品生產(chǎn)無塵車間（區(qū)）的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度級別        塵埃zui允許數(shù) /平方米        微生物zui大允許數(shù)
        ≥0.5um        5um        浮游菌個 /立方米        沉降菌個 /皿.30min

100        3500        0        5        1
10000        350000        2000        100        3
100000        3500000        20000        500        10
300000        10500000        61800        NA        15

無塵車間及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001
空氣潔凈度等級 （N）        大于或等于表中粒徑的zui大濃度限值 （pc/m3）
        0.1μm        0.2μm        0.3μm        0.5μm        1μm        5μm
1        10        2                                    
2        100        24        10        4                  
3        1000        237        102        35        8         
4        10000        2370        1020        352        83         
5        100000        23700        10200        3520        832        29
6        1000000        237000        102000        35200        8320        293
7                                   352000        83200        2930
8                                   3520000        832000        29300
9                                   35200000        8320000        293000
三、無塵車間標(biāo)準(zhǔn)-控管之項目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3. 溫度和濕度之控制。
4. 壓力之調(diào)節(jié)。
5. 有害氣體之排除。
6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制。
8. 電磁干擾預(yù)防。
9. 安全因素之考慮。
10. 節(jié)能之考量。
四、無塵車間標(biāo)準(zhǔn)-分類
1.亂流式（Turbulent Flow）：
  空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵車間內(nèi)之空氣過濾器（HEPA）進入潔凈室，并由無塵車間兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
  優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。
  缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。
2.層流式（Laminar）：
  層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率*之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
（1）無塵車間水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
  優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。
  缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。
（2）無塵車間垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。
  優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
  缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。
3.復(fù)合式（Mixed Type）：
  復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
（1）無塵車間潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域*覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
（2）無塵車間潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為zui適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
（3）無塵車間并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；即屬此類。
  潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
  潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10M2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
五、無塵車間標(biāo)準(zhǔn)-氣流之流動
  無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。
  無塵車間系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
  無塵車間內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選在0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以zui適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達到經(jīng)濟性效果。
  另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。
  無塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
  影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。
  一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?，此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
  無塵車間內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少zui低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

六、無塵車間標(biāo)準(zhǔn)-構(gòu)成
  潔凈室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室
（1）天花板系統(tǒng)：包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。
（2）空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。
（3）隔墻板（Partitional wall）：包括窗戶、門。
（4）地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
（5）照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
  無塵車間之建筑主體構(gòu)造，一般采用雙面板夾芯彩鋼板制造，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；C.吸濕性小；D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高

無塵車間標(biāo)準(zhǔn)：設(shè)計與施工嚴(yán)格按照《ISO/DIS14644-1標(biāo)準(zhǔn)》、《GB50073-2001無塵車間裝設(shè)計規(guī)范》、《JGJ71-90無塵車間裝施工及驗收規(guī)范》等專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，以ISO9002質(zhì)量體系為宗旨，進行凈化工程的設(shè)計、制作、安裝、調(diào)試的一條龍服務(wù)，滿足了不同行業(yè)對凈化、空調(diào)、無菌、照明、電氣及裝飾等需要。并且對外承接空調(diào)水系統(tǒng)安裝，配電系統(tǒng)安裝。