概述

有諦工業(yè)科技（上海）有限公司提供符合EIT-SEMIF57標(biāo)準(zhǔn)的FFKM全氟橡膠，F(xiàn)EP包覆和PEEK聚醚醚酮材料制成的各種半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)密封元件。

半導(dǎo)體設(shè)備，半導(dǎo)體材料以及晶圓制造（Wafer Fabr ication），晶圓測試（wafer Probe/Sorting)，蝕刻，CMP，CVD、芯片封裝（Assemble），測試（Test）及后期的成品（Finish Goods）等相關(guān)設(shè)備工藝需要使用超高純，低污染，低滲透，耐腐蝕，耐化學(xué)介質(zhì)，耐等離子特性及壓縮變形冷流功能優(yōu)異的密封元件。其中典型應(yīng)用包括閥門O型圈，門密封，腔密封以及橡膠金屬腔體硫化連接。

應(yīng)用場合

單晶爐，氧化爐，清洗機，蝕刻機Etching，化學(xué)物理沉積CVD/PVD，拋光設(shè)備CMP

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