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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司


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GSL-1700X-EV4 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間：2023-01-12 09:28:28瀏覽次數(shù)：374次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：405條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：廖勝眉

產(chǎn)品簡介

簡要描述：GSL-1700X-EV4是一款小型溫控型蒸發(fā)鍍膜儀，內(nèi)部設(shè)有4個(gè)蒸發(fā)坩堝，且每個(gè)蒸發(fā)坩堝都帶有擋板，多可放置4種不同的蒸發(fā)物料，可在同一氣氛下依次鍍膜，實(shí)現(xiàn)多層膜的沉積工藝?？沙绦蚩販?，控溫范圍200-1500℃（選用B型熱電偶：1200℃-1700℃），大可蒸鍍直徑2英寸薄膜樣品，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

● 石英真空腔體：280mm OD×260mm ID×310mm H，易清洗和放入樣品

● 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺，并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，使所制薄膜達(dá)到更好的均勻性

● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，max溫度可達(dá)到1700℃，并且配用氧化鋁舟，可裝入樣品（僅

1600℃以下使用，若蒸發(fā)溫度大于1600℃，樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中）

● 精確控溫：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

● 真空度：10-5Torr(如采用分子泵系統(tǒng))

● 進(jìn)氣系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)腔體的清洗和反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜

●

工作電源

● 電壓：AC220V，50/60Hz，單相

● 功率：1200W，大電流為30A

溫控及加熱源

● 4蒸發(fā)坩堝，每個(gè)容積為3mL。四坩堝可依次進(jìn)行蒸發(fā)，實(shí)現(xiàn)多層膜沉積工藝（不能同時(shí)蒸發(fā)）

● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源，并且配有的氧化鋁坩堝，熱電偶安裝在坩堝底部，以便于溫度測量

和控制（如圖1）

● 標(biāo)準(zhǔn)采用S型熱偶：工作溫度為200℃-1500℃（圖2）

● 可選B型熱電偶：工作溫度為1200℃-1700℃

● 安裝有一個(gè)數(shù)顯的溫度控制器：可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1ºC（如圖3）

● 也可將儀器轉(zhuǎn)換到手動調(diào)節(jié)接狀態(tài)，內(nèi)部不安裝熱電偶，直接采用手動調(diào)節(jié)輸出電流大小，發(fā)熱源

溫度可高達(dá)2000℃，可實(shí)現(xiàn)對樣品鍍碳等實(shí)驗(yàn)（圖4）

● 儀器中配備4個(gè)蒸發(fā)坩堝，每個(gè)坩堝均配有2個(gè)鎢絲藍(lán)加熱元件

●

圖1 圖2 圖3 圖4 圖5

樣品臺

● 儀器頂部安裝有樣品臺，直徑為Φ50mm

● 樣品臺可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速為：5rpm

● 樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍為：40mm-85mm

●

樣品厚度監(jiān)測（可選）

● 腔室內(nèi)可安裝精密的薄膜測厚儀，可點(diǎn)擊圖1&圖2查看詳情。測厚精度可達(dá)0.10 Å。測厚儀LED

顯示可實(shí)現(xiàn)：

● 根據(jù)數(shù)據(jù)庫，輸入涂層信息

● 顯示鍍膜總厚度以及鍍膜速度

● 可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD，用于薄膜厚度的檢測，點(diǎn)擊圖3查看詳情

●

真空系統(tǒng)（選配）

● 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵

● MAX真空度可達(dá)4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵）

● 雙極旋片真空泵或干泵，可使儀器真空腔體的真空度達(dá)到10-2Torr

● 真空度達(dá)到10-2torr時(shí)，可蒸發(fā)一些貴金屬，如金和鉑，也可蒸發(fā)一些有機(jī)材料，可選購數(shù)顯

防腐真空計(jì)PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.)

● 高真空度可達(dá)4.0E-6 Torr（采用渦旋分子泵），此時(shí)可蒸發(fā)對氧敏感的材料，如Al. Mg, Li，

分子泵上帶有復(fù)合真空計(jì)（MAX可測量真空度為1.0E-7Torr）

● 可在本公司選購各種真空泵和真空計(jì)

進(jìn)氣口

● 進(jìn)氣接口為1/4NPS，可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進(jìn)行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，

進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜

● 進(jìn)氣口安裝有一針閥，用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量

耗材

● 注：氧化鋁坩堝以及鎢絲藍(lán)為耗材，可與本公司銷售聯(lián)系購買

●

產(chǎn)品尺寸

● 總體尺寸：550mm L×550mm W×750mm H

● 石英腔體尺寸：280mm OD×260mm ID×310mm H

●

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年保質(zhì)期，終生維護(hù)

產(chǎn)品質(zhì)量

80kg

應(yīng)用注意事項(xiàng)

● 為了獲得高真空度，可采用以下做法

（1）使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕，并用酒精擦洗

（2）抽真空時(shí)，用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃，氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃，保持2小時(shí)

● 使用溫度高于1300℃時(shí)，保溫時(shí)間不可大于1小時(shí)，否則會損壞密封圈

● 當(dāng)腔體的各閥門關(guān)閉時(shí)，請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進(jìn)行加熱

● 當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時(shí)，不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵，只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時(shí)，才可放氣

或關(guān)閉真空泵



關(guān)鍵詞：測厚儀 真空泵

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