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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司


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GSL-1700X-EV4 程序控溫型四坩堝蒸發(fā)鍍膜儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2023-01-12 09:28:28瀏覽次數(shù):293次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:405條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:廖勝眉

產(chǎn)品簡介

簡要描述:GSL-1700X-EV4是一款小型溫控型蒸發(fā)鍍膜儀,內(nèi)部設(shè)有4個蒸發(fā)坩堝,且每個蒸發(fā)坩堝都帶有擋板,多可放置4種不同的蒸發(fā)物料,可在同一氣氛下依次鍍膜,實(shí)現(xiàn)多層膜的沉積工藝。可程序控溫,控溫范圍200-1500℃(選用B型熱電偶:1200℃-1700℃),大可蒸鍍直徑2英寸薄膜樣品,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

● 石英真空腔體:280mm OD×260mm ID×310mm H,易清洗和放入樣品

● 安裝有一個2英寸的樣品臺,并且樣品臺可以旋轉(zhuǎn),使所制薄膜達(dá)到更好的均勻性

● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,max溫度可達(dá)到1700℃,并且配用氧化鋁舟,可裝入樣品(僅

1600℃以下使用,若蒸發(fā)溫度大于1600℃,樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中)

● 精確控溫:可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃

● 真空度:10-5Torr(如采用分子泵系統(tǒng))

● 進(jìn)氣系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)腔體的清洗和反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜

工作電源

● 電壓:AC220V,50/60Hz,單相

● 功率:1200W,大電流為30A

溫控及加熱源

● 4蒸發(fā)坩堝,每個容積為3mL。四坩堝可依次進(jìn)行蒸發(fā),實(shí)現(xiàn)多層膜沉積工藝(不能同時蒸發(fā))

● 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,并且配有的氧化鋁坩堝,熱電偶安裝在坩堝底部,以便于溫度測量

和控制(如圖1)

● 標(biāo)準(zhǔn)采用S型熱偶:工作溫度為200℃-1500℃(圖2)

● 可選B型熱電偶:工作溫度為1200℃-1700℃

● 安裝有一個數(shù)顯的溫度控制器:可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/- 1ºC(如圖3)

● 也可將儀器轉(zhuǎn)換到手動調(diào)節(jié)接狀態(tài),內(nèi)部不安裝熱電偶,直接采用手動調(diào)節(jié)輸出電流大小,發(fā)熱源

溫度可高達(dá)2000℃,可實(shí)現(xiàn)對樣品鍍碳等實(shí)驗(yàn)(圖4)

● 儀器中配備4個蒸發(fā)坩堝,每個坩堝均配有2個鎢絲藍(lán)加熱元件

圖1 圖2 圖3 圖4 圖5

樣品臺

● 儀器頂部安裝有樣品臺,直徑為Φ50mm

● 樣品臺可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速為:5rpm

● 樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離可以調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍為:40mm-85mm

樣品厚度監(jiān)測(可選)

● 腔室內(nèi)可安裝精密的薄膜測厚儀,可點(diǎn)擊圖1&圖2查看詳情。測厚精度可達(dá)0.10 Å。測厚儀LED

顯示可實(shí)現(xiàn):

● 根據(jù)數(shù)據(jù)庫,輸入涂層信息

● 顯示鍍膜總厚度以及鍍膜速度

● 可選購反射光譜薄膜測厚儀--TFMS-LD,用于薄膜厚度的檢測,點(diǎn)擊圖3查看詳情

真空系統(tǒng)(選配)

● 設(shè)備上有一KF25接口用于連接真空泵

● MAX真空度可達(dá)4.0E-6 Torr(采用渦旋分子泵)

● 雙極旋片真空泵或干泵,可使儀器真空腔體的真空度達(dá)到10-2Torr

● 真空度達(dá)到10-2torr時,可蒸發(fā)一些貴金屬,如金和鉑,也可蒸發(fā)一些有機(jī)材料,可選購數(shù)顯

防腐真空計PCG-554(測量范圍3.8x10-5 to 1125 Torr.)

● 高真空度可達(dá)4.0E-6 Torr(采用渦旋分子泵),此時可蒸發(fā)對氧敏感的材料,如Al. Mg, Li,

分子泵上帶有復(fù)合真空計(MAX可測量真空度為1.0E-7Torr)

● 可在本公司選購各種真空泵和真空計

進(jìn)氣口

● 進(jìn)氣接口為1/4NPS,可向真空腔體中通入惰性氣體,對腔體進(jìn)行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,

進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜

● 進(jìn)氣口安裝有一針閥,用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量

耗材

● 注:氧化鋁坩堝以及鎢絲藍(lán)為耗材,可與本公司銷售聯(lián)系購買

產(chǎn)品尺寸

● 總體尺寸:550mm L×550mm W×750mm H

● 石英腔體尺寸:280mm OD×260mm ID×310mm H

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年保質(zhì)期,終生維護(hù)

產(chǎn)品質(zhì)量

80kg

應(yīng)用注意事項(xiàng)

● 為了獲得高真空度,可采用以下做法

(1)使用前要檢查密封圈和法蘭上是否有異物或劃痕,并用酒精擦洗

(2)抽真空時,用外部加熱裝置將腔體烘烤到200℃,氧化鋁坩堝預(yù)加熱到500℃,保持2小時

● 使用溫度高于1300℃時,保溫時間不可大于1小時,否則會損壞密封圈

● 當(dāng)腔體的各閥門關(guān)閉時,請勿開啟升溫程序或手動調(diào)節(jié)電流進(jìn)行加熱

● 當(dāng)儀器正在蒸發(fā)材料時,不可打開泄氣閥或關(guān)閉真空泵,只有當(dāng)加熱溫度降至100℃時,才可放氣

或關(guān)閉真空泵



關(guān)鍵詞:測厚儀 真空泵

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