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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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更新時間:2023-01-11 09:58:33瀏覽次數(shù):323次
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簡要描述:GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al、Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機(jī)設(shè)有4個蒸鍍加熱舟,且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現(xiàn)對有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設(shè)備。
主要特點(diǎn) | 真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。 采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。 真空腔體設(shè)有1個KF40旁抽閥(直接與前級機(jī)械泵相連,方便快速取放樣品,提高效率)、1個CF150閘板 閥(直接與分子泵相連)、1個KF16法蘭(安裝電阻規(guī))、5個CF35法蘭(1個安裝電離規(guī),4個備用,便于安裝其他設(shè)備)。 在腔體底部配有5個水冷電極,可支持4個蒸鍍加熱舟。 4個蒸鍍加熱舟上方配有獨(dú)立的可移動擋板,有效地避免蒸發(fā)時相互污染。 · 樣品臺安裝在腔體的頂部。 · 腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀,精度為10Å。 可使用循環(huán)水冷機(jī)。 |
技術(shù)參數(shù) | 輸入:單相AC208-240V,20A,50Hz/60Hz,<10KW 輸出:0-8V AC 可調(diào),大電流400A,大功率8000W(包括真空泵) 真空腔:Φ300mm(內(nèi)徑)×400mm,不銹鋼,內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理
腔門:Φ200mm 觀察窗:Φ95mm,采用密封圈密封 真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s(標(biāo)配GZK-103G分子泵) 真空度:5.0×10-6torr(泵開啟40min后)
· 極限真空度:5.0×10-7torr (加熱溫度為100℃-150℃) · 漏率:5.0×10-7Pa/s · 樣品臺:Φ140mm · · 蒸發(fā)舟與樣品臺間距:260mm 冷卻水需量:15L/min |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:650mm×1200mm×1600mm; 重量:600kg |
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