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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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更新時(shí)間：2023-01-05 10:44:53瀏覽次數(shù)：236次
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簡(jiǎn)要描述：UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機(jī)研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀，全自動(dòng)觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。
UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機(jī)研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀，全自動(dòng)觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。
產(chǎn)品名稱 | UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī) | |||||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有上水口及下水口，需自行連接自來(lái)水及下排水 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：無(wú) 4、工作臺(tái)：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 | |||||
主要特點(diǎn) | 1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。 2、超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤端跳小于0.01mm）。 3、設(shè)有兩個(gè)加工工位，可分別進(jìn)行控制。 4、配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板，可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。 5、配置自動(dòng)滴料器，流量速率可視化調(diào)整，自動(dòng)研磨和拋光。 6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調(diào)節(jié)壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。 7、研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕。 | |||||
技術(shù)參數(shù) | 主機(jī)部分 | GPC-100A精密磨拋控制儀 | 自動(dòng)滴料器 | |||
1、電源：110V/220V 2、功率：400W 3、磨拋盤轉(zhuǎn)速：10-240rpm 4、磨拋工位：2個(gè) 5、擺臂調(diào)節(jié)檔位：1-15檔 6、托盤端跳：0.008/250mm 7、磨拋盤：Ø300mm 8、修盤環(huán)：Ø127.5mm
| 1、載樣盤直徑：Ø103mm 2、載樣盤軸向行程：12mm 3、數(shù)顯表精度：0.001mm 4、載樣盤可調(diào)加載壓力：0.1kg-2.1kg 5、壓力確認(rèn)儀有效量程：1g-5000g 6、樣品裝卡方式：真空吸附 7、承載樣件尺寸： 直徑≤103mm、 厚度≤12mm 8、尺寸：外徑146mm，高266mm
| SKZD-2滾筒滴料器 1、容積：1.5L 2、流量：0-35ml/min 3、尺寸：170×290×350mm； 重量：3kg SKZD-4自動(dòng)滴料器 1、加液泵：4個(gè) 2、料液瓶：600ml/瓶 3、計(jì)時(shí)范圍：1-999min 4、流量：0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸：230×370×450mm； 重量：10kg | ||||
產(chǎn)品規(guī)格 | 1、整套尺寸：950mm×690mm×580mm； 2、重量：90kg | |||||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 不銹鋼拋光盤 | 1個(gè) |
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2 | 載物盤 | 1個(gè) |
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3 | 修盤環(huán) | 1個(gè) |
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4 | SKZD-2滴料器 | 1個(gè) |
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5 | SKZD-4自動(dòng)滴料器 | 1個(gè) |
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6 | GPC-100A精密磨拋控制儀 | 1個(gè) |
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7 | 拋光墊 （磨砂革、合成革、聚氨酯） | 各1片 |
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8 | 剛玉研磨微粉 | 0.5kg |
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9 | 石蠟棒 | 4根 |
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可選配件 | 1、YJXZ-12攪拌循環(huán)泵 2、精密測(cè)厚儀 3、陶瓷研磨盤 4、玻璃研磨盤 5、磁性樹(shù)脂金剛石研磨片 | |||||
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