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上海CVD氣相沉積爐

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更新時(shí)間：2022-09-23 13:05:56瀏覽次數(shù)：206次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)介：SL-CVD是一款PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源，80mm OD1500mm L的管式爐，通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組，可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯材料。

詳細(xì)介紹

設(shè)備名稱	CVD氣相沉積爐（2020.11.3——升利實(shí)驗(yàn)室審核）
主要特點(diǎn)	· 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低試驗(yàn)溫度。 · 溫度可達(dá)1200℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 ·? 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 · 開門斷電，提高實(shí)驗(yàn)安全性。 · 客戶可根據(jù)需求選購(gòu)雙溫區(qū)沉積爐。 · 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、Zno納米管或納米線及單層石墨烯等。
基本參數(shù)	· 溫度: 1200℃（≤30min）工作溫度: 1100℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 電壓：220V · 額定功率：3KW · 爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管
爐管尺寸	· Φ401200mm · Φ601500mm · Φ801500mm · Φ601800mm · Φ801800mm · Φ1001200mm
真空系統(tǒng)	· 采用TRP-12的雙旋真空泵； · KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； · 真空度可達(dá)10-2Torr。
質(zhì)保	· 一年保修，終身技術(shù)支持。 · 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。