美國Sensaras晟爾斯液位計189--5407--1837山東展悅
美國sensaras晟爾斯PLS960多點(diǎn)液位計
SENSARAS晟爾斯PLS160侵入式單點(diǎn)液位計
SENSARAS晟爾斯PLS163泥漿液位傳感器
SENSARAS晟爾斯PLS166侵入式單點(diǎn)液位計
PLS164液位計
SENSARAS晟爾斯PLS167界面檢測傳感器
SENSARAS晟爾斯PLS262
美國Sensaras晟爾斯液位計
美國Sensaras晟爾斯PLS960多點(diǎn)侵入式液位計
半導(dǎo)體、化工
產(chǎn)品概述
超聲波侵入式多點(diǎn)液位系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中PVD、CVD、ALD等工藝所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐內(nèi)高純度化學(xué)品液位的高精度和高可靠性的測量。
液位系統(tǒng)在化學(xué)氣相沉積過程中至關(guān)重要,如ALD,CVD,PVD等半導(dǎo)體晶圓制造過程。
PLS960系列多點(diǎn)液位系統(tǒng)專業(yè)用于檢測非常昂貴的超高純度化學(xué)品(DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、DECT、TCA和金屬化初級粒子等)的準(zhǔn)確數(shù)量,減少化學(xué)廢物,增加產(chǎn)量和利潤。
產(chǎn)品特點(diǎn)
通過超聲波回波處理技術(shù)檢測液體在容器中的存在狀態(tài)。 不受被測物的介電常數(shù)、顏色、密度和粘度等參數(shù)影響。 探頭采用316L 不繡鋼材質(zhì),通過½”或¾” VCR與容器連接。 探頭采用套筒式或叉式結(jié)構(gòu),一體式設(shè)計,無可移動部件。 模塊與探頭分離,無需校準(zhǔn),易安裝。 度有的套管設(shè)計可根據(jù)用戶不同點(diǎn)位的要求定制。
主要應(yīng)用
- 多點(diǎn)液位測量
- 高位/溢出報警
- 低位/停止、再進(jìn)料
- 半導(dǎo)體行業(yè)和醫(yī)藥制藥行業(yè)
技術(shù)規(guī)格
電路
輸入:24VDC
輸出: 每點(diǎn)1A SPDT
1A SPDT 報錯點(diǎn)或自動進(jìn)料/退料
本地溫度顯示可選
可高達(dá)7點(diǎn)液位顯示和報錯顯示
針對不同液體也無需校準(zhǔn)
重復(fù)性: +/- 0.04”(1mm)(典型)
精度: +/- 0.06 (1.5mm)
電流消耗:蕞大250mA(典型)
探頭
材質(zhì):316L不銹鋼
3/4" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到7個液位檢測點(diǎn)
1/2" VCR連接結(jié)構(gòu)可達(dá)到4個液位檢測點(diǎn)
多于7個點(diǎn)的檢測請與我們聯(lián)系,可定制達(dá)16個點(diǎn)。
K-type SLE 溫度傳感器(可選)
蕞低液位檢測點(diǎn)可置于探頭末端向上5毫米
兩個液位檢測點(diǎn)最小距離可為2.5毫米
蕞大長度: 600毫米,若需更長尺寸與我們聯(lián)系
溫度: 0° to 125°C (標(biāo)準(zhǔn)),達(dá)160°C