詳細(xì)介紹
中孔雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的產(chǎn)品特點(diǎn):
疊層式布局
緊湊型中空結(jié)構(gòu)
雙直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
納米級(jí)微動(dòng)步距
高動(dòng)態(tài)性能,高精度
集成式線纜管理
產(chǎn)品圖片
高精度設(shè)計(jì)
RBZK系列雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái),疊層緊湊的中空外形結(jié)構(gòu),工作點(diǎn)位置降低,光柵反饋位置接近工作表面,在晶圓檢測(cè)中至關(guān)重要。高精度滾柱導(dǎo)軌和精密研磨的加工表面,專業(yè)的裝配工藝,獲得直線度±1.25μm,平面度±1.5μm。
雙驅(qū)結(jié)構(gòu)
每軸用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),龍門交叉解耦控制算法,提供雙電機(jī)的運(yùn)行的一致性,提供大推力、速度1m/s和準(zhǔn)確的定位,直線電機(jī)的溫度控制在室溫,比滾珠絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)臺(tái),性能有了提升。
集成式線纜管理
使用高質(zhì)量無塵拖鏈,優(yōu)化管線彎曲半徑,防止動(dòng)作過程中影響其性能,同時(shí)也適用在潔凈室內(nèi)。
規(guī)格指標(biāo)
注:
以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級(jí)VC-E,測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測(cè)試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試,請(qǐng)咨詢我們。
1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
3. 空載條件下指標(biāo),MAX速度和加速度取決于負(fù)載大小。
售后服務(wù)
我公司在2小時(shí)內(nèi)響應(yīng)維護(hù)服務(wù),24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)維護(hù),為更好的做產(chǎn)品售后服務(wù)工作,及時(shí)接收用戶反饋的問題。
免費(fèi)的電話咨詢和服務(wù);
反饋時(shí)間不超過2小時(shí);
如果需要到現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),質(zhì)保期外的我公司只收取人員的差旅費(fèi)(北京市內(nèi)除外);
質(zhì)保期外的,硬件如果需要更換或修理,只收取硬件的成本;
設(shè)備正常運(yùn)行驗(yàn)收后,我公司指派專業(yè)工程師負(fù)責(zé)在現(xiàn)場(chǎng)為貴單位提供不受人員限制的產(chǎn)品設(shè)備培訓(xùn),培訓(xùn)內(nèi)容包括:設(shè)備正確操作使用知識(shí);識(shí)別初級(jí)故障及必要的恢復(fù)方法;常見故障排除方法。