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雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)

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參考價(jià) 10
訂貨量 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) RBZK-XY系列
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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  • 所在地 北京市

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更新時(shí)間:2025-03-18 17:46:01瀏覽次數(shù):999

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

RBZK系列雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)是中空結(jié)構(gòu)的,大尺寸通孔、高動(dòng)態(tài)性能滿足晶圓檢測(cè)應(yīng)用,同時(shí)適用于CCD成像、LED封裝檢測(cè)等其它制造等行業(yè)。

詳細(xì)介紹

中孔雙軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)的產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 疊層式布局

  • 緊湊型中空結(jié)構(gòu)

  • 雙直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)

  • 納米級(jí)微動(dòng)步距

  • 高動(dòng)態(tài)性能,高精度

  •  集成式線纜管理


產(chǎn)品圖片

雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)

高精度設(shè)計(jì)

       RBZK系列雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái),疊層緊湊的中空外形結(jié)構(gòu),工作點(diǎn)位置降低,光柵反饋位置接近工作表面,在晶圓檢測(cè)中至關(guān)重要。高精度滾柱導(dǎo)軌和精密研磨的加工表面,專業(yè)的裝配工藝,獲得直線度±1.25μm,平面度±1.5μm


雙驅(qū)結(jié)構(gòu)

       每軸用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),龍門交叉解耦控制算法,提供雙電機(jī)的運(yùn)行的一致性,提供大推力、速度1m/s和準(zhǔn)確的定位,直線電機(jī)的溫度控制在室溫,比滾珠絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)臺(tái),性能有了提升


光柵反饋
       每軸采用雙光柵尺閉環(huán)反饋,安裝位置接近工作表面,能夠有效地降低系統(tǒng)誤差影響,提升整體精度性能。可選電子分辨率≤1nm或≤5nm。


集成式線纜管理

       使用高質(zhì)量無塵拖鏈,優(yōu)化管線彎曲半徑,防止動(dòng)作過程中影響其性能,同時(shí)也適用在潔凈室內(nèi)。


規(guī)格指標(biāo)

雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)

雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)

注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測(cè)試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動(dòng)等級(jí)VC-E,測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測(cè)試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試,請(qǐng)咨詢我們。

1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

3. 空載條件下指標(biāo),MAX速度和加速度取決于負(fù)載大小。


售后服務(wù)

我公司在2小時(shí)內(nèi)響應(yīng)維護(hù)服務(wù),24小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)維護(hù),為更好的做產(chǎn)品售后服務(wù)工作,及時(shí)接收用戶反饋的問題。

免費(fèi)的電話咨詢和服務(wù);

反饋時(shí)間不超過2小時(shí);

如果需要到現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),質(zhì)保期外的我公司只收取人員的差旅費(fèi)(北京市內(nèi)除外);

質(zhì)保期外的,硬件如果需要更換或修理,只收取硬件的成本;

設(shè)備正常運(yùn)行驗(yàn)收后,我公司指派專業(yè)工程師負(fù)責(zé)在現(xiàn)場(chǎng)為貴單位提供不受人員限制的產(chǎn)品設(shè)備培訓(xùn),培訓(xùn)內(nèi)容包括:設(shè)備正確操作使用知識(shí);識(shí)別初級(jí)故障及必要的恢復(fù)方法;常見故障排除方法。




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