詳細(xì)介紹
Setra西特227超高純壓力傳感器
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表壓、復(fù)合壓、絕壓可選
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PSI或BAR量程可選
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11/8"下法蘭安裝Setra 的227型傳感器專用于當(dāng)今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block
氣體棒和面板。227型1-1/8"的占地面積優(yōu)化了有價(jià)值的空間,其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使
其非常適合那些要求長(zhǎng)期穩(wěn)定性、高精度和對(duì)惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測(cè)量應(yīng)
用。
Setra 的227型傳感器專用于當(dāng)今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block
氣體棒和面板。227型1-1/8"的占地面積優(yōu)化了有價(jià)值的空間,其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使
其非常適合那些要求長(zhǎng)期穩(wěn)定性、高精度和對(duì)惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力測(cè)量應(yīng)
用。
與其它具有較大死端空泡體積的設(shè)計(jì)不同,227型具有一個(gè)方便洗滌的小排量
傳感器艙。所有濕潤(rùn)部件均為優(yōu)質(zhì)VAR316LSS材料,電解拋光至5Ra(10
max.)的終飾。每一個(gè)傳感器都經(jīng)質(zhì)譜儀進(jìn)行過(guò)高達(dá)1x10-9atm.cc/sec的氦
滲漏試驗(yàn)。
可選擇5VDC、10VDC或4-20mA輸出,227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的讀數(shù)精度。227型配備了一個(gè)節(jié)省空間的11/8"C型密封件下安裝接口
底座,并可選擇多芯電纜、4針bayonet連接器和一個(gè)9針或15針D型連接器
用于電氣終端。加上327型的1-1/8"可旋轉(zhuǎn)顯示器,該產(chǎn)品包達(dá)到了壓力測(cè)量
及顯示的Ji致。
該*設(shè)計(jì)包括在旋轉(zhuǎn)保護(hù)蓋下面的側(cè)接近至零點(diǎn)及范圍調(diào)節(jié),可選擇絕隊(duì)壓、
表壓或復(fù)合壓。
Setra 獲専利的可變電容傳感器的特點(diǎn)在于一個(gè)316L不銹鋼膜片和一個(gè)絕緣電Ji
板。在傳感器主體和電Ji板之間形成一個(gè)可變電容器。壓力的增加致使膜片略微
變圓,從而增加了電容。通過(guò)Setra *的定制集成電路檢測(cè)電容值的變化,并
利用獲専利的電荷平衡原理將其轉(zhuǎn)換成高度精準(zhǔn)的線性DC電信號(hào)。
Setra 的整個(gè)超高純系列均基于Setra 的被廣泛認(rèn)可的電容傳感技術(shù),高度精準(zhǔn)和
穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號(hào)基本上可抑制電磁干擾/射頻干擾(EMI/RFI)。
應(yīng)用
●模塊式1-1/8"氣體棒和面板
●高純氣體傳輸系統(tǒng)
●半導(dǎo)體工藝工具
好處
■出色的穩(wěn)定性,可避免停機(jī)
■抗EMI/RFI功能防止假停機(jī)
■符合CE標(biāo)準(zhǔn)
UltraHighPurity(超高純應(yīng)用壓力傳感器)
我們提供所有Setra 產(chǎn)品的應(yīng)用幫助,其中包括人員幫助和文獻(xiàn)幫助,
而客戶有責(zé)任確定該產(chǎn)品的適用性。
227型的技術(shù)規(guī)格
性能數(shù)據(jù)
jing確RSS*(恒定溫度下)讀數(shù)±1.0%或±0.25%全量程
非線性,BFSL±0.15%全量程
滯后0.20%全量程
非重復(fù)性0.02%全量程
熱效應(yīng)**
補(bǔ)償范圍oF(℃)+15至+150(-9到+65)
零點(diǎn)漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)
范圍漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)
加熱漂移0.1%全量程
**在額定70oF下校驗(yàn)過(guò)的設(shè)備。
根據(jù)此數(shù)據(jù)而計(jì)算的zui大溫度誤差。
環(huán)境數(shù)據(jù)
溫度
工作溫度*oF(℃)-40至+185(-40到+85)
儲(chǔ)存溫度oF(℃)-40至+185(-40到+85)
*工作溫度僅是電子設(shè)備的溫度Ji限。
受壓媒介的溫度可能要高或低很多。
物理描述
外殼不銹鋼
電氣連接182.88cm.多芯電纜,Bayonet
連接器或D-型連接器
壓力接頭下安裝“C"型密封
通風(fēng)通過(guò)零點(diǎn)和范圍接近孔
重量6.5oz(184g)
電氣數(shù)據(jù)(電壓)
電路3根導(dǎo)線(Exc、Out、Com)
激勵(lì)10至30VDC(5VFSO)
13至30VDC(10VFSO)
輸出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
電流消耗<8mA
*校準(zhǔn)精度為50Kohm負(fù)荷,可操作5000ohm或更大的負(fù)荷。
**零點(diǎn)輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)(限5VDC輸出)
或±50mV(限10VDC輸出)。
**范圍(全量程)輸出的出廠設(shè)置在±25mV之內(nèi)
(限5VDC輸出)或±50mV(限10VDC輸出)。
電氣數(shù)據(jù)(電流)
電路2根導(dǎo)線
輸出*4至20mA**
外部負(fù)荷0至800Ohm
zui大電源電壓(VDC)=10+0.02x(接收器正Ji導(dǎo)線的電阻)。
zui大電源電壓(VDC)=30+0.004x(接收器正Ji導(dǎo)線的電阻)。
*出廠時(shí)以24VDC回路電壓和一個(gè)250ohm負(fù)荷,進(jìn)行校準(zhǔn)。
**零點(diǎn)輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。
**范圍(全量程)輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA之內(nèi)。
壓力媒介
與316L不銹鋼相兼容的液體或氣體。
產(chǎn)品規(guī)格如有變更,恕不另行通知。
外形圖
2.71
68.83
傳感器范圍及零點(diǎn)調(diào)節(jié)
0.26
66
0.81
20.57
1.13
28.70
?1.05
?26.67
1.23
31.24
15針D型
3.66
92.96
小排量傳感器艙
?1.00
?25.4
?0.86
?21.84
1.13
28.70
0.86
20.32
0.86
20.32
?0.19
?4.83
安裝孔
in
mm
2271E5
型號(hào)范圍壓力壓力接頭輸出電氣終端精度
2271=227025P=25PSI007B=7BAR
050P=50PSI017B=17BAR
100P=100PSI035B=35BAR
250P=250PSI070B=70BAR
500P=500PSI200B=200BAR
10CP=1000PSI
20CP=2000PSI
39CP=3000PSI
A=絕隊(duì)壓
C=復(fù)合壓
G=表壓
E5=下安裝“C"型密封
(1.125"底座)
11=4~20mA
2B=0~5VDC
2C=0~10VDC
33=0.2~5.2VDC
59=0.2~10.2VDC
06=6ft.多芯電纜
B1=4引腳Bayonet接頭
D9=9針D型接頭
D1=15針D型接頭
M1=5針微型DIN接頭
F=±0.25%全量
程(有檢定證
書(shū))
J=±1.0%讀數(shù)
(有檢定證書(shū))
訂購(gòu)信息
寫(xiě)出表格內(nèi)所有方框內(nèi)的代碼。
示例量程0至100PSIG,下安裝“C"型密封法蘭,輸出4-20mA,15針D連接器,讀數(shù)精度為±0.25%全量程的217型變送器,
其零件號(hào)為2271100PGE511D1F。