詳細(xì)介紹
飛陽(yáng)科技污水站項(xiàng)目
芯片廢水主要污染工序集中于前后清洗工序及工藝器具洗滌廢水工序。產(chǎn)生的水污染物主要有生產(chǎn)廢水(鋁蝕刻清洗廢水、酸性廢氣洗滌廢水、顯影/剝膜清洗廢水、工具器具和石英制品清洗廢水等)。污染成分為芯片廢水主要含有氟化物、無(wú)機(jī)氨氮、鉻離子、cod等污染物,成分復(fù)雜,極難處理
產(chǎn)生的水污染物主要為鋁蝕刻清洗廢水、酸性廢氣洗滌廢水、顯影/剝膜清洗廢水、工具器具和石英制品清洗廢水等,根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)為的特點(diǎn)及本工程的實(shí)際特點(diǎn),酸堿廢水含一些金屬離子,COD濃度低于排放標(biāo)準(zhǔn);有機(jī)廢水主要是在顯影/剝膜清洗階段產(chǎn)生,產(chǎn)生的廢水水量少深度很高;一般廢水主要產(chǎn)生在清洗工序,主要污染物為SS和殘留元器件表面的有機(jī)物等。
工藝為:有機(jī)廢水收集池、酸堿廢水收集池、一般廢水收集池+曝氣調(diào)節(jié)池(充氧氣)+折點(diǎn)加氯池(去除氨氮)+中間水池+微電解器(去除有機(jī)物)+加藥中和池1(去除氟化物)+沉淀池1+加藥中和池2(去除酸堿)+沉淀池2+ph回調(diào)池(ph回調(diào)到正常狀態(tài))+中間水池2+清水池;
經(jīng)收集后的幾種廢水分別進(jìn)入收集池暫時(shí)貯存,然后用泵分別將三種生產(chǎn)廢水定量泵入綜合廢水調(diào)節(jié)池,在綜合廢水調(diào)節(jié)池內(nèi)通入空氣對(duì)廢水進(jìn)行預(yù)曝調(diào)節(jié)后,用提升泵將廢水泵入折點(diǎn)加氯池進(jìn)行氨氮的去除,之后廢水自流進(jìn)入PH調(diào)節(jié)池1,調(diào)節(jié)PH到2至3后進(jìn)入中間水池1然后用泵泵入微電解反應(yīng)器進(jìn)行反應(yīng),隨后廢水自流進(jìn)入加藥反應(yīng)池1加堿調(diào)節(jié)PH值到10至11左右加入氯化鈣進(jìn)行混合反應(yīng)除去廢水中的磷和氟化物,經(jīng)處理后的廢水再進(jìn)入加藥反應(yīng)池2并加堿調(diào)節(jié)PH值到8至9左右并加入PAC和PAM進(jìn)行反應(yīng)進(jìn)入沉淀池2進(jìn)行固液分離,固液分離后的廢水調(diào)節(jié)PH到中性再用泵泵入過濾設(shè)備去除水中多余雜質(zhì)和污染物質(zhì)后達(dá)標(biāo)排放。
沉淀池1和沉淀池2的沉淀物以及過濾設(shè)備反沖洗水進(jìn)入污泥濃縮池,上清液回流到綜合調(diào)節(jié)池,污泥用疊螺機(jī)壓干后泥餅外運(yùn)處理,濾液回到調(diào)節(jié)池再處理。
日處理量為500噸每天
出水達(dá)到接入管網(wǎng)的園區(qū)排放標(biāo)準(zhǔn),實(shí)際處理效果達(dá)到了綜合一級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn),遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了客戶的要求
現(xiàn)在出水已經(jīng)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)排放
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