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技術(shù)文章

深圳威固特VGT-1403FH藍(lán)寶石襯底超聲波清洗機(jī)

閱讀:142          發(fā)布時(shí)間:2019-9-24
  • 引言(學(xué)習(xí)藍(lán)寶石襯底的用意及用處)

近二十年來,氮化鎵基發(fā)光二極管取得了飛躍式發(fā)展,并實(shí)現(xiàn)了大規(guī)模的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。氮化鎵基發(fā)光二極管由于其、節(jié)能、環(huán)保等*性能,將取代現(xiàn)有的白熾燈、熒光燈、鹵化燈等而成為主流的固態(tài)照明工具。

然而,同質(zhì)外延生長(zhǎng)所需的高質(zhì)量GaN襯底的價(jià)格昂貴且遠(yuǎn)不能滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求?,F(xiàn)有的外延襯底大部分仍是藍(lán)寶石,由于藍(lán)寶石與GaN材料存在晶各失配和熱失陪等缺點(diǎn),這阻礙了GaN晶體質(zhì)量的提高,從而導(dǎo)致了GaN的發(fā)光器件性能的進(jìn)一步提高。大量研究表明,圖形化藍(lán)寶石襯底有利于降低晶體的位錯(cuò)密度和應(yīng)力釋放,從而大大改善GaN晶體的質(zhì)量和GaN的發(fā)光器件性能。

  • 藍(lán)寶石襯底的常規(guī)清洗方法

在正常的室溫下,有機(jī)溶劑超聲清洗,以及加熱條件下,丙酮浸泡。

實(shí)施本發(fā)明的藍(lán)寶石襯底清洗方法,取消了傳統(tǒng)清洗方法中使用的三氯乙烯試劑,減少了環(huán)境污染,避免人員中毒,在清洗過程中,使用超聲波和加熱清洗,可節(jié)省清洗時(shí)間,提高清洗效率和質(zhì)量。工藝簡(jiǎn)單、操作方便,滿足環(huán)保要求。

然而,使用超聲波清洗機(jī)清洗藍(lán)寶石襯底,是利用了超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對(duì)液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的。

  • 藍(lán)寶石襯底清洗用超聲波設(shè)備類型中的光學(xué)超聲波清洗機(jī)

深圳威固特VGT-1403FH為光學(xué)超聲波清洗機(jī),設(shè)備共有14個(gè)功能槽,配置有循環(huán)過濾系統(tǒng)、有機(jī)溶劑蒸餾回收系統(tǒng)、自動(dòng)恒溫系統(tǒng)、拋動(dòng)系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、抽風(fēng)裝置、環(huán)保液前處理系統(tǒng)、慢拉脫水、熱風(fēng)烘干等。設(shè)備采用環(huán)保型有機(jī)溶劑洗滌、水溶劑洗滌、純水漂洗、離心烘干為環(huán)保型清洗機(jī)。是藍(lán)寶石襯底在清洗設(shè)備上值得首要考慮的。

  • 深圳威固特VGT-1403FH光學(xué)超聲波清洗機(jī)的小部分結(jié)構(gòu)配置是這此需了解的

熱風(fēng)烘干槽:

結(jié)構(gòu):每個(gè)烘干槽配置一套氣缸

加熱系統(tǒng)結(jié)構(gòu):

  1. 外置式不銹鋼加熱箱;
  2. 內(nèi)設(shè)不銹鋼加熱管,功率12KW,配OMRON數(shù)顯式溫控系統(tǒng),監(jiān)控箱內(nèi)熱風(fēng)溫度,溫控范圍:~120℃。

FFU壓風(fēng)系統(tǒng):

結(jié)構(gòu):在烘干槽正上方的機(jī)架頂部設(shè)置一個(gè)FFU層流送風(fēng)單元。由上往下吹風(fēng)形成負(fù)壓風(fēng),致使工件加熱后附著物不易粘附。

功能:因慢拉槽液溫較高,如無頂部的FFU壓風(fēng),大量的水汽將往上騰,水氣會(huì)再次附著于提出的藍(lán)寶石襯底上;安裝FFU后,可在上方形成局部正壓,大部分水氣從缸面的抽氣口抽走。

其實(shí),也有很多對(duì)干凈后的藍(lán)寶石襯底樣品選擇進(jìn)行旋轉(zhuǎn)吹干處理。深圳威固特的甩干機(jī)的基本工藝操作流程簡(jiǎn)單概述下:

開機(jī)—參數(shù)設(shè)置—裝入樣品—啟動(dòng),執(zhí)行工藝流程—啟動(dòng),執(zhí)行工藝流程—過程結(jié)束,取出樣品。

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