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詳細(xì)介紹
低膨脹增量式銦鋼直線光柵尺
用ZeroMet™（一種低膨脹鎳/鐵合金）制造的銦鋼柵尺，具有20 µm柵距的增量式刻線。它可與精細(xì)柵距的玻璃柵尺媲美，在1.5 m長度內(nèi)的總體精度（包括斜率誤差和線性誤差）優(yōu)于±1.5 µm。ZeroMet在20 °C時的熱膨脹系數(shù)為0.75 ±0.35 µm/m/°C。系統(tǒng)設(shè)計人員可根據(jù)要求選擇背面自帶的特殊配方不干膠帶或用機(jī)械夾具進(jìn)行安裝。兩種安裝方式都有助于使柵尺不受基體熱膨脹影響。
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