參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

2通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)MFC-2Z司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將設(shè)備置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個(gè)7“的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

詳細(xì)介紹

^{2通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)MFC-2Z}

^{設(shè)備描述：}

^{MFC-5Z是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將設(shè)備置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個(gè)7"的觸摸屏上，同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。}

^{技術(shù)參數(shù)}

^名稱	^雙通道	^三通道	^四通道	^五通道
^{質(zhì)量流量控制器}	^{工作溫度：5~45ºC 大壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S} ^{重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用}	^{工作溫度：5~45 ºC 大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S 重復(fù)精度:±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用}	^{工作溫度:5~45 ºC 大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S.} ^{重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用}	^{工作溫度: 5~45 ºC 大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S. 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制}
^輸入電源	^{AC 220V/50Hz單相}
^功率	^23W
^PLC觸摸屏	^{· 各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一個(gè)7"的觸摸屏上} ^{· RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制}
^{機(jī)械壓力表}	^{· 有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接} ^{· 量程:-0.1~0.15 MPa}
^針閥	^{316 不銹鋼}
^通氣管道	^{· 內(nèi)部連接管道為Φ不銹鋼管} ^{· 外部通氣管道為Φ聚四氟管}
^混氣罐	^Φ80X120mm
^{截止閥及配件}	^{·316不銹鋼針閥} ^{Φ6mm 不銹鋼管}
^外形尺寸	^{600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)}
^{質(zhì)量認(rèn)證}	^{CE認(rèn)證}
^{質(zhì)保期}	^{一年質(zhì)保期，終身維護(hù)}